SiC Difüzyon Fırını Borusu

Semicorex SiC Difüzyon Fırın Borusunun yüksek bükülme mukavemeti, olağanüstü oksidasyon ve korozyon direnci, yüksek aşınma direnci, düşük sürtünme katsayısı, üstün yüksek sıcaklık mekanik özellikleri ve ultra yüksek saflık gibi gelişmiş malzeme özellikleri, onu yarı iletken endüstrisinde vazgeçilmez kılmaktadır. özellikle difüzyon fırını uygulamaları için. Semicorex olarak biz, kaliteyi maliyet verimliliğiyle birleştiren yüksek performanslı SiC Difüzyon Fırını Tüpü üretmeye ve tedarik etmeye kendimizi adadık.**

Talep Gönder

Ürün Açıklaması

Yüksek Eğilme Mukavemeti: Semicorex SiC Difüzyon Fırını Borusu, 200MPa'yı aşan bir bükülme mukavemetine sahip olup, yarı iletken üretim süreçlerine özgü yüksek stres koşulları altında olağanüstü mekanik performans ve yapısal bütünlük sağlar.

Üstün Oksidasyon Direnci: Bu SiC Difüzyon Fırını Tüpleri, tüm oksit olmayan seramikler arasında en iyisi olan üstün oksidasyon direnci sergiler. Bu özellik, yüksek sıcaklıktaki ortamlarda uzun süreli stabilite ve performans sağlar, bozulma riskini azaltır ve tüplerin çalışma ömrünü uzatır.

Mükemmel Korozyon Direnci: SiC Difüzyon Fırını Tüpünün kimyasal inertliği, korozyona karşı mükemmel direnç sağlayarak bu tüpleri yarı iletken işlemede sıklıkla karşılaşılan zorlu kimyasal ortamlarda kullanım için ideal hale getirir.

Yüksek Aşınma Direnci: SiC Difüzyon Fırını Borusu aşınmaya karşı oldukça dirençlidir; bu, boyutsal stabiliteyi korumak ve aşındırıcı koşullarda uzun süreli kullanımlarda bakım gereksinimlerini azaltmak için çok önemlidir.

Düşük Sürtünme Katsayısı: SiC Difüzyon Fırını Tüpünün düşük sürtünme katsayısı, hem tüplerde hem de plakalarda aşınma ve yıpranmayı azaltır, düzgün çalışmayı sağlar ve yarı iletken işleme sırasında kirlenme risklerini en aza indirir.

Üstün Yüksek Sıcaklık Mekanik Özellikleri: SiC Difüzyon Fırını Borusu, olağanüstü güç ve sürünme direnci de dahil olmak üzere, bilinen seramik malzemeler arasında en iyi yüksek sıcaklık mekanik özelliklerini gösterir. Bu, onu özellikle yüksek sıcaklıklarda uzun süreli stabilite gerektiren uygulamalar için uygun hale getirir.

CVD Kaplama ile: Semicorex Kimyasal Buhar Biriktirme (CVD) SiC kaplama, safsızlık içeriği 5 ppm'nin altında ve zararlı metal safsızlıkları 1 ppm'nin altında olmak üzere %99,9995'ten daha yüksek bir saflık seviyesine ulaşır. CVD kaplama işlemi, tüplerin yüksek hassasiyetli yarı iletken üretim ortamları için gerekli olan 2-3Torr'un sıkı vakum sızdırmazlık gereksinimlerini karşılamasını sağlar.

Difüzyon Fırınlarında Uygulama: Bu SiC Difüzyon Fırını Tüpleri, doping ve oksidasyon gibi yüksek sıcaklıktaki işlemlerde kritik bir rol oynadıkları difüzyon fırınlarında kullanılmak üzere özel olarak tasarlanmıştır. Gelişmiş malzeme özellikleri, bu süreçlerin zorlu koşullarına dayanabilmelerini sağlar ve böylece yarı iletken üretiminin verimliliğini ve güvenilirliğini artırır.