SiC Odak Halkaları

Semicorex gelişmiş, yüksek saflıkta SiC Odak Halkaları, plazma dağlama (veya kuru dağlama) odalarındaki zorlu ortamlara dayanacak şekilde üretilmiştir. Silisyum karbür katmanlar ve epitaksi yarı iletken gibi yarı iletken endüstrilerine odaklanıyoruz. Ürünlerimiz iyi bir fiyat avantajına sahip olup Avrupa ve Amerika pazarlarının çoğunu kapsamaktadır. Çin'deki uzun vadeli ortağınız olmayı sabırsızlıkla bekliyoruz.

Talep Gönder

Ürün Açıklaması

Semicorex, SiC Odak Halkaları sağlar; RTA, RTP veya sert kimyasal temizlik için gerçekten dayanıklıdır. SiC Odak Halkaları veya kenar halkaları, levha kenarı veya çevresi etrafındaki aşındırma homojenliğini geliştirmek için tasarlanmıştır. Plazma aşındırma işleminin zorlukları için tasarlanmış yüksek saflıkta bileşenlerle kirlenmeyi ve plansız bakımı en aza indirin. SiC Kaplamalı SiC Odak Halkalarımız yoğun, aşınmaya dayanıklı bir silisyum karbür (SiC) kaplamadır. Mükemmel ısı iletkenliğinin yanı sıra yüksek korozyon ve ısı direnci özelliklerine sahiptir. Kimyasal buhar biriktirme (CVD) işlemini kullanarak SiC'yi ince tabakalar halinde grafit üzerine uyguluyoruz.

SiC Odak Halkalarının Parametreleri

CVD-SIC Kaplamanın Ana Özellikleri
SiC-CVD Özellikleri
Kristal Yapısı	FCC β fazı
Yoğunluk	g/cm³	3.21
Sertlik	Vickers sertliği	2500
Tane Boyutu	μm	2~10
Kimyasal Saflık	%	99.99995
Isı Kapasitesi	J kg-1 K-1	640
Süblimleşme Sıcaklığı	℃	2700
Feleksural Dayanım	MPa (RT 4 nokta)	415
Young Modülü	Gpa (4pt viraj, 1300°C)	430
Termal Genleşme (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Isı iletkenliği	(W/mK)	300

SiC Odak Halkalarının Özellikleri

- Hizmet ömrünü uzatmak için CVD Silisyum Karbür kaplamalar.

- Yüksek performanslı saflaştırılmış sert karbondan yapılmış ısı yalıtımı.

- Karbon/Karbon kompozit ısıtıcı ve plaka. - Hem grafit alt katman hem de silisyum karbür katman, yüksek termal iletkenliğe ve mükemmel ısı dağıtım özelliklerine sahiptir.

- İğne deliği direnci ve daha uzun ömür için yüksek saflıkta grafit ve SiC kaplama