SiC Odak Halkaları

Semicorex gelişmiş, yüksek saflıkta SiC Odak Halkaları, plazma dağlama (veya kuru asitleme) odalarındaki aşırı ortamlara dayanacak şekilde üretilmiştir. Silisyum karbür katmanlar ve epitaksi yarı iletken gibi yarı iletken endüstrilerine odaklanıyoruz. Ürünlerimiz iyi bir fiyat avantajına sahiptir ve Avrupa ve Amerika pazarlarının çoğunu kapsamaktadır. Çin'deki uzun vadeli ortağınız olmayı dört gözle bekliyoruz.

Talep Gönder

Ürün Açıklaması

Semicorex, RTA, RTP veya sert kimyasal temizlik için gerçekten kararlı olan SiC Odak Halkaları sağlar. SiC Odak Halkaları veya kenar halkaları, gofret kenarı veya çevresi etrafındaki dağlama tekdüzeliğini iyileştirmek için tasarlanmıştır. Plazma aşındırma işleminin zorlukları için tasarlanmış yüksek saflıkta bileşenlerle kontaminasyonu ve planlanmamış bakımı en aza indirin. SiC Kaplamalı SiC Odak Halkalarımız, yoğun, aşınmaya dayanıklı bir silisyum karbür (SiC) kaplamadır. Mükemmel ısı iletkenliğinin yanı sıra yüksek korozyon ve ısı direnci özelliklerine sahiptir. Kimyasal buhar biriktirme (CVD) işlemini kullanarak SiC'yi ince katmanlar halinde grafit üzerine uyguluyoruz.

SiC Odak Halkalarının Parametreleri

CVD-SIC Kaplamanın Ana Özellikleri
SiC-CVD Özellikleri
Kristal yapı	FCC Î² fazı
Yoğunluk	g/cm³	3.21
Sertlik	Vickers sertliği	2500
Tane büyüklüğü	ım¼m	2~10
Kimyasal Saflık	%	99.99995
Isı kapasitesi	J·kg-1 ·K-1	640
Süblimleşme Sıcaklığı	℃	2700
Feleksural Mukavemet	MPa (RT 4 noktalı)	415
Youngâ s Modülü	Gpa (4pt viraj, 1300â)	430
Termal Genleşme (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Termal iletkenlik	(W/mK)	300

SiC Odak Halkalarının Özellikleri

- Servis ömrünü uzatmak için CVD Silisyum Karbür kaplamalar.

- Yüksek performanslı saflaştırılmış sert karbondan yapılmış ısı yalıtımı.

- Karbon/Karbon kompozit ısıtıcı ve plaka.- Hem grafit alt tabaka hem de silisyum karbür tabaka, yüksek ısıl iletkenliğe ve mükemmel ısı dağıtım özelliklerine sahiptir.

- İğne deliği direnci ve daha uzun kullanım ömrü için yüksek saflıkta grafit ve SiC kaplama