SIC Yatay Fırın Boruları

SIC yatay fırın borularıGenellikle yarı iletken imalat veya fotovoltaik üretim ekipmanlarının çekirdek ısıtma alanında bulunan fırın sisteminin vazgeçilmez taşıyıcılarıdır. Isıtma elemanları, sıcaklık kontrol sistemleri, gaz kontrol sistemleri ve gofret tekneleri ile birlikte çalışarak komple fırın sistemini oluştururlar.

Gerçek çalışmada SIC yatay fırın boruları, silisyum karbür malzemelerin mükemmel ısı iletkenliği sayesinde ısıyı fırın borularına eşit şekilde aktaran ısıtma elemanları tarafından ısıtılır. Bu arada fırın tüpüne belirli proses gazları (oksijen, nitrojen, doping gazları vb.) verilir. Bu yüksek sıcaklıktaki gaz atmosferinin etkisi altında, fırın içindeki yarı iletken malzemeler kimyasal reaksiyonlara veya fiziksel değişikliklere uğrayacak ve sonuçta malzeme modifikasyonu, katkılama veya yapısal optimizasyon elde edilecektir.

Semicorex'in SIC yatay fırın boruları, büyük hacimli levha taşıma ve işlemeyi içeren uygulamalarda önemli bir rol oynayan olağanüstü mekanik mukavemet ve sertlik sağlar. SIC yatay fırın boruları, oksidasyon, difüzyon ve tavlama gibi ısıl işlem proseslerinde levhalar için stabil destek sağlayarak, yüksek sıcaklıkta işleme sırasında levhaların doğru konumda olmasını sağlar ve termal stresin neden olduğu yer değiştirme veya deformasyonu önler.

Semicorex'in SIC yatay fırın boruları yüksek saflıkta üretilmektedir.silisyum karbür seramiklerultra düşük safsızlık içeriği ile, ardından bir CVD biriktirmesilisyum karbür kaplamaonların yüzeyinde. Bu üretim yöntemi, SIC yatay fırın borularına, zaman içinde zorlu yüksek sıcaklık ve aşındırıcı ortamlarda istikrarlı bir şekilde çalışmalarını sağlayan koruyucu bir katman ekler. SIC yatay fırın tüplerinin korozyona karşı direnç performansı, korozyona bağlı bileşen hasarı riskini etkili bir şekilde azaltarak ve sık sık değiştirme ve bakım ihtiyacını azaltarak yarı iletken levha üretiminin verimliliğini artırır.

Pek çok üstün özelliğe sahip olan Semicorex'in SIC yatay fırın tüpleri, fotovoltaik ve yarı iletken endüstrilerindeki oksidasyon işlemi, difüzyon işlemi, tavlama işlemi ve düşük basınçlı kimyasal buhar biriktirme gibi birçok yüksek sıcaklıktaki işleme süreçlerinde yaygın olarak kullanılmaktadır.