SiC ICP plakası

Semicorex SiC ICP plakası, olağanüstü fiziksel ve kimyasal özellikleriyle bilinen Silisyum karbürden yapılmıştır. Sağlam yapısı, yarı iletken işlemenin zorlu ortamlarında kritik faktörler olan termal şoka, oksidasyona ve korozyona karşı üstün direnç sağlar. SiC malzemesinin kullanılması plakanın ömrünü önemli ölçüde uzatır, değiştirme sıklığını azaltır ve böylece üretim tesislerindeki bakım maliyetlerini ve arıza sürelerini azaltır.

SiC ICP plakası, yarı iletken levhaların oluşturulmasında temel olan plazma aşındırma ve biriktirme işlemlerinde çok önemli bir rol oynar. Bu işlemler sırasında SiC ICP plakasının yüksek termal iletkenliği ve stabilitesi, tutarlı ve doğru aşındırma ve biriktirme sonuçları elde etmek için hayati önem taşıyan hassas sıcaklık kontrolü ve plazmanın eşit dağılımını sağlar. Bu hassasiyet, küçük sapmaların bile önemli performans sorunlarına yol açabileceği, gittikçe küçülen ve karmaşıklaşan yarı iletken cihazların üretiminde kritik öneme sahiptir.

SiC ICP plakasının öne çıkan özelliklerinden biri olağanüstü mekanik mukavemetidir. Silisyum karbürün doğal sertliği ve sağlamlığı, aşırı koşullar altında bile mükemmel yapısal bütünlük sağlar. Bu sağlamlık, yüksek yoğunluklu plazma prosesleri sırasında daha istikrarlı ve güvenilir bir performans anlamına gelir, bileşen arızası riski en aza indirilir ve sürekli, kesintisiz çalışma sağlanır. Ayrıca, malzemenin geleneksel metal muadillerine kıyasla hafif yapısı, daha kolay taşıma ve kuruluma katkıda bulunarak operasyonel verimliliği daha da artırır.

Fiziksel özelliklerine ek olarak SiC ICP plakası mükemmel kimyasal stabilite sunar. Yarı iletken aşındırma ve biriktirme ortamlarında yaygın olan reaktif plazma türlerine karşı olağanüstü direnç gösterir. Bu direnç, plazma proseslerinde kullanılan agresif kimyasalların varlığında bile plakanın bütünlüğünü ve performansını uzun süre korumasını sağlar. Sonuç olarak, SiC ICP plakası daha temiz bir işleme ortamı sağlayarak yarı iletken plakalardaki kirlenme ve kusur olasılığını azaltır.