Sic boruları

Semicorex SIC boruları, yarı iletken fırın sistemleri için seramik parçalardır.  Yüksek termal iletim ve yüksek sıcaklık ve kimyasal direnç içeren benzersiz özelliklere sahiptirler, burada beklenen ve özelliklerin arzu edildiği aşırı yüksek sıcaklık ve kimyasal çevresel koşulların olduğu yarı iletken uygulamalarda gereklidir - dayanıklılık, enerji verimliliği ve benzersiz kararlı işlem koşulları - gelişmiş yarı iletken üretim ortamlarında ekonomik olmasını sağlar.

Semicorex sic boruları yüksek saflıkta ince taneli kullanırsilikon karbürBu, gelişmiş sinterleme ve yeniden kristalleştirme yöntemleri ve tekniklerinin bir sonucu olarak olağanüstü yüksek sıcaklık mekanik stabiliteye sahip olmak için üretilmiştir. Yüksek performanslı SIC'nin etkinleştirilmesi, olağanüstü mekanik mukavemet ve yüksek çalışma sıcaklıklarında termal stabilitenin tutulmasına neden olur. SIC, aşınmayı veya potansiyel deformasyonu hafifleten olağanüstü sertliğe sahiptir.  Ek olarak, SIC özellikleri ile ilişkili özellikler, termal genişlemenin düşük yakıtlı katsayısıdır, çünkü bu malzemeyi aşırı yüksek ve düşük çalışma ısısı arasında bisiklete binmek için gereksinimler olacağından termal stresi sınırlarlar. Tüm bu düşüncelerde, difüzyon fırınlarında, oksidasyon fırınlarında ve LPCVD/PECVD sistemlerindeki ideal uygulamalar için, maksimum stabil süreç koşullarını korumak için özel bir faydaya sahiptirler.

SIC borularının bir başka önemli faydası, belirli koşullardaki yüksek termal iletim profilleri ve yüksek oranda iletken ve en önemlisi, süreç boyunca sıcaklığın eşit ve sabit bir dağılımı üretmek için uygulanabilir fırın tasarımlarıdır.  Bu güvenilir davranış, gofretlerin makul zaman aralıklarında yarı eşit sıcaklık dağılımlarına maruz kalmasına izin verir ve ek olarak termal gradyanları daha fazla film biriktirme koşullarını iyileştirirken düz tabanlı çarpık ve/veya kusurlu gofretleri azaltmak için sınırlandırır.

Kimyasal stabilite ve direnç bir başka önemli performans faktörüdür.  Yarı iletken işlemlerde, fırın tüpü, geleneksel materyalleri hızlı bir şekilde bozabilen oksijen, hidrojen, amonyak ve tüm halojenler dahil olmak üzere yüksek reaktif gazların etkisine tabi tutulur. Yoğun ve gözeneksiz mikroyapı, SIC'nin kimyasal olarak inert doğası ile birlikte, aşırı işlem ortamında operasyonel ve mekanik performans sunarken oksidasyon ve korozyona karşı korur.  SIC fırınlarının dayanıklılığı, süreç kontrolü ve stabilitesi için önemli olan uzun süreler boyunca form ve boyutsal doğruluk bütünlüğünü korumalarına yardımcı olur.

SIC boruları, fırın tasarımlarına ve işlem ihtiyaçlarına uyacak şekilde geometrik olarak şekillendirilmiş çok çeşitli boyutlarda ve duvar kalınlıklarında üretilebilir.  SIC borularının tasarımı ve üretimi sırasında kesin hassas işleme özellikleri de korunur, böylece operasyonel toleranslar sıkı olabilmelidir, pürüzsüz iç yüzeyler ve laminer gaz akışı ve düzgün termal profillerin dengesini korumak için mükemmel konsantriklik. Yüzey parlatma ve kaplamalar, parçacık üretimini azaltarak ve korozyon direncini geliştirerek performansı artıracak tedavi seçenekleri olarak sağlanabilir.

SIC boruları, kuvars veya alümina boruları gibi alternatif malzemelere kıyasla net operasyonel ve maliyet avantajlarına sahiptir.  SIC bileşenleri için başlangıç ​​maliyeti biraz daha yüksek olabilir, ancak ürünün ömrü, kırılmada azalma ve daha düşük bakım gereksinimleri, alternatif malzemelerden ve borulardan daha düşük maliyetler olan toplam mülkiyet maliyetiyle sonuçlanır.

Sonuç olarak, SemicorexSicBorular, en iyi termal performansı, mekanik mukavemeti, kimyasal direnci ve zorlu üretim ortamları için güvenilirliği sağladıkları için yarı iletken fırın uygulamaları için en iyi seçenektir. Bu materyal süreç istikrarını iyileştirir ve aşağı yoldan maliyet tasarrufu ve verimliliğine yardımcı olur (yani daha düşük enerji tüketimi). SIC boruları, modern yarı iletken üretimi için temel bir malzemedir.