SIC Gözenekli Seramik Bağ Ayırıcı Aynalar

Yarı iletken işlemenin ilerlemesi ve elektronik bileşenlere olan talebin artmasıyla birlikte, ultra ince levhaların uygulanması giderek daha kritik hale geldi. Genel olarak kalınlığı 100 μm'den az olan levhalara ultra ince levhalar adı verilir. Bununla birlikte, levhalar 100 μm'nin altına kadar inceltildiğinde, önemli ölçüde kırılganlık sergilerler ve mekanik dayanımları daha sonra azalır, bu da levhanın eğilme, bükülme ve hatta kırılma riskinin yüksek olmasına neden olur. Bu nedenle, bağ ayırma prosesinde güvenli bir ayırma elde etmek için ultra ince levhalara güvenilir destek ve koruma sağlayabilen Semicorex SiC gözenekli seramik bağ ayırıcı tutucuların kullanılması akıllıca bir karardır.

Semicorex SiC gözenekli seramik bağ ayırıcı tutucuların avantajları

1. Olağanüstü malzeme özellikleri

Yaklaşık 9,5 Mohs sertliğine sahip SemicorexSiC gözenekli seramik bağ ayırıcı tutucularolağanüstü aşınma direncine sahiptir ve bağ ayırma işlemi sırasında güvenilir dayanıklılıkla tekrarlanan vakum adsorpsiyonuna ve serbest bırakma işlemlerine uzun süre dayanabilir.

Buna ek olarak, üstün termal iletkenliğe sahip Semicorex SiC gözenekli seramik bağ ayırıcı aynalar, ısıyı hızlı bir şekilde iletmek için balyalıdır, bu da levhaların bozulmasına veya hasar görmesine neden olabilecek yerel aşırı ısınmayı etkili bir şekilde önleyebilir, özellikle yüksek sıcaklıkta bağ ayırma işlemi için uygundur.

2.Yüksek performanslı gözenekli seramik yapı

Yüksek kalitede üretilmiştirsilisyum karbürYüksek sıcaklıkta sinterleme yoluyla toz haline getirilen Semicorex SiC gözenekli seramik bağ ayırıcı aynaları, iç kısımda eşit şekilde dağıtılmış çok sayıda birbirine bağlı mikro gözeneklere sahiptir. Semicorex SiC gözenekli seramik bağ ayırıcı aynaları, %30 (±5) gözenekliliğe ve 2-25 μm arasında hassas bir şekilde kontrol edilen gözenek boyutuna sahip, ultra ince levhaların bağ ayırma işlemi sırasında eşit şekilde gerilmesini sağlayabilir ve böylece levhanın çarpılması ve kırılması riskini büyük ölçüde azaltır.

3. Hassas düzlük kontrolü

Olgun işleme ve yüzey işleme teknolojilerinden yararlanan Semicorex SiC gözenekli seramik bağ ayırıcı aynalar, 0,02 mm'nin altında kontrollü paralellik ve 0,02 mm'nin altında çift taraflı düzlük elde eder. Bu mükemmel düzlük ve paralellik, ultra ince levhaların bağ ayırma işlemi için sağlam ve düz bir destek platformu sağlayarak bağ ayırma işleminin doğruluğunu ve güvenilirliğini etkili bir şekilde garanti eder.

4.Esnek boyut seçenekleri

Semicorex SiC gözenekli seramik bağ ayırıcı aynalar, 6 inç ve 8 inç levha işleme için çok uygundur ve 159 mm çap × 0,75 mm kalınlık, 200 mm çap × 1 mm kalınlık, 204 mm çap × 1,5 mm kalınlık dahil olmak üzere çeşitli standart boyutlarda mevcuttur.