Sic robot elleri

Semicorex sic robot elleri, yarı iletken üretimi alanında robotik gofret transfer uygulamaları için tasarlanmış son efektörlerin en sonlarıdır. Yüksek performanslı malzemelerle üretilen bu robotik elleri, gofret üretimi veya kullanımının giderek daha sert bir ortamı için maksimum termal tablo, kimyasal stabilite ve mekanik mukavemet sağlamak için silikon karbür (sic) seramikleri ile tasarladık.

SIC Robot ellerimizin merkezinde bizim tescilli gelişmişsilikon karbürYüksek sertliği (MOHS 9), yüksek termal iletkenlik ve korozyon direnci ile bilinir. Alüminyum veya paslanmaz çelik gibi geleneksel malzemelerin aksine, SIC, işlenmiş yüksek sıcaklıklar ve reaktif gazlar dahil olmak üzere yarı iletken temiz odaların sert işleme ortamı ile uyumludur. Gofret üretimi için gereken katı saflık ile tutarlı olarak uzun süreli dayanıklılık sunuyor ve kontaminasyonu en aza indiriyoruz.

SIC robot elleri olan yarı iletken ekipman, gofret elde etmek için negatif basınç emme kullanır, yani yarı iletken gofret, vantuz veya seramik parmağında, vantuz veya seramik parmağına, ardından sırasıyla uzanan, dönen ve kaldırma hareketlerini uzatan, döndüren ve kaldırma hareketleri kullanılarak nakliye kullanılarak adsorbe edilir.

"Yüksek hız" ve "temizlik", yarı iletken gofret taşıma ekipmanının temel özellikleridir. Bu özellikleri karşılamak için, ekipman kullanılan bileşenlerin performansı konusunda son derece katı gereksinimlere sahiptir. Çoğu işlem bir vakum, yüksek sıcaklık ve aşındırıcı gaz ortamında gerçekleştirildiğinden, ekipmanda kullanılan taşıma kolu mükemmel fiziksel özelliklere sahip olmalıdır: yüksek mekanik mukavemet, korozyon direnci, yüksek sıcaklık direnci, aşınma direnci, yüksek sertlik, yalıtım vb. Ve gelişmiş seramik malzemeler bu koşulları karşılayabilir.

Silikon karbür seramikleriYoğun doku, yüksek sertlik, yüksek aşınma direncinin yanı sıra iyi ısı direnci, mükemmel mekanik mukavemet, yüksek sıcaklık ortamında iyi yalıtım, iyi korozyon direnci ve diğer fiziksel özelliklerin fiziksel özelliklerine sahiptir. Yarıiletken ekipmanları kullanma kolları yapmak için mükemmel bir malzemedir.

Robotik platformların FAB'ler ve araç üreticileri arasında değiştiğini kabul eden SIC robot ellerimiz, çeşitli standart boyutlarda mevcuttur ve benzersiz araç konfigürasyonları için özelleştirilebilir. Montaj arayüzleri, parmak geometrileri ve gofret destek özellikleri, belirli ekipman ve işlem ihtiyaçlarını karşılayacak şekilde uyarlanabilir. İster küme araçları, vakum odaları veya Foup sistemleri içinde gofret aktarıyor olun, robot ellerimiz önde gelen robot markalarıyla sorunsuz bir şekilde entegre olur.

Her SIC robot eli, Sınıf 1 temiz oda standartlarına uyumu sağlamak için titiz temizlik, muayene ve ambalaj prosedürlerine uğrar. SIC'nin gözeneksiz, anti-statik yüzeyi parçacık yapışmasını azaltırken, sağlam yapı zaman içinde parçacık oluşumuna yol açabilecek mikro-çiziklere direnir. Bu, onları en ufak bir kontaminasyonun bile cihaz arızasına yol açabileceği ön uç gofret işlemleri için ideal hale getirir.

Epitaksi ve iyon implantasyonundan PVD, CVD ve CMP'ye kadar, SIC robot ellerine yarı iletken cihaz imalatının her adımında güvenilir. Termal şok ve plazma ortamlarına karşı üstün dirençleri, özellikle SIC gofret substratlarının kullanıldığı yerlerde, gelişmiş mantık ve güç yarı iletken hatlarında vazgeçilmez hale getirir.