Sic vakum aynaları

YarıSilikon karbürSIC vakum aynaları, hassas malzeme çıkarma işlemleri sırasında yarı iletken gofretleri güvenli ve güvenilir bir şekilde tutmak için tasarlanmış yüksek teknoloji seramik araçlarıdır. Ultra temiz, yüksek sıcaklık ve kimyasal olarak sert ortamlarda kullanılmak üzere tasarlanmıştır. SIC vakum aynaları, üstün gofret adsorpsiyonu ve hizalama verilmesine yardımcı olur. Mükemmel mekanik mukavemet, termal iletkenlik ve kimyasal dayanıklılık sağlamak için yarı saflıkta silikon karbür seramikten üretilir.

Vakum aynasının ana işi, gofret yüzeyi boyunca düzgün emme çekmektir, böylece gofret, muayene, biriktirme, aşındırma ve litografi gibi işlemler sırasında sabit tutulur. Tipik vakum aynaları, zaman içinde parçacık üretimi, bükülme veya kimyasal bozulma ile ilgili sorunlara sahiptir. Aşırı yarı iletken üretim koşulları için, SIC vakum aynaları üstün uzun süreli dayanıklılık ve stabilite sağlayacaktır.

Silikon karbür malzemeleri sertliği, termal stabilitesi ve düşük termal genleşme katsayısı için çok değerlidir. Bu malzemeler, çok çeşitli sıcaklıklarda boyutsal olarak stabil kalacaktır, bu da gofrete termal uyumsuzluk olmadan termal stabilite ve gelişmiş süreç doğruluğuna izin verecektir. Yüksek termal iletkenlikleri ayrıca hızlı termal başlangıç rampa koşullarında veya yüksek enerjili plazmalara kısa maruz kalmalarda yararlı olan hızlı ısı dağılmasına izin verir.

SIC seramik sadece termal ve mekanik faydalara sahip olmakla kalmaz, aynı zamanda plazma korozyonuna ve agresif proses gazlarına da dirençlidir. Bu özellik, kuvars veya alüminyum nitrür malzemelerinin kullanımla bozulabileceği kuru aşınma, CVD ve PVD işlemleri için SIC vakum mandrenlerini özellikle elverişli hale getirir. SIC'nin kimyasal etkisi, kontaminasyonu sınırlamaya ve takım çalışma süresini iyileştirmeye yardımcı olacaktır.

Üstün performans sağlamak için. Semicorex, sic vakum aynaları yapar ve Micron's güncellemelerinde kanal yapılarına sahip ultra düz yüzeylerde son derece sıkı toleranslar belirtir. Bu özelliklerle, gofret desteği için hassas emme ve sürekli emme bölgesi ile gofret desteği sağlar, çözgü veya gofretlerin kırılma şansını azaltır. Özel tasarım hizmetleri, çeşitli uygulamalarda çeşitli gofret boyutlarına (2 "ila 12") uygundur.

Daha yüksek verim, süreç kontrolü ve güvenilirlik faktörler olduğundan, Sic vakum aynaları yeni nesil yarı iletken ekipmanının yeni temel bileşenleridir. SIC vakum aynalarının uygulamaları doğrudan artış, ekipman güvenilirliği ve işleme kontrolü vermeye bağlıdır.