Sic dikey tekneler

Semicorex sic dikey tekneler, dikey fırın yarı iletken işleme için en yüksek termal, mekanik ve kimyasal stabiliteyi sağlamak için tasarlanmış ve üretilen tasarlanmış gofret taşıyıcılarıdır. Yüksek saflıkta inşa edilmişsilikon karbür, dikey fırın sistemlerinde oksidasyon, difüzyon, LPCVD ve tavlama olarak belirtilen çok gelişmiş gofret termal işleme için en iyi güç, dayanıklılık ve temizlik dengesi olduğuna inanıyoruz.

Dikey fırın işleme ortamları, yüksek sıcaklıkta tekrarlanan maruziyetlere dayanabilen, genellikle 1.200 ° C'yi aşabilen ve kontaminasyon sorunları olmadan dimen olarak stabil kalan bir gofret destek sistemi gerektirir. SIC dikey tekneler, yeniden kristalleşmiş veya CVD silikon karbürün iç mekanik ve termal özellikleri nedeniyle bu durumlarda sağlamlıklarında mükemmeldir. Son derece düşük termal genleşme katsayısları, hızlı termal döngü nedeniyle minimum çelik veya bozulma sağlar. Ek olarak, yüksek termal iletkenlik, katman kalınlığı, doping profilleri ve elektriksel performansta gofret-yazım kıvamı için kritik olan tüm gofretler arasında en büyük yerel sıcaklık homojenliğini sunar; Yarı iletken endüstrisinde yüksek hacimli üretimin önemli yönleri.

Geleneksel kuvars teknelerle karşılaştırıldığında, sic dikey tekneler üstün mekanik güç ve genişletilmiş servis ömrü sunar. Kuvars, özellikle agresif fırın kimyalarında, daha yüksek yedek maliyetlere ve potansiyel üretim kesintilerine yol açarak, zamanla kırılgan olma ve zamanla adanma eğilimindedir. Buna karşılık, silikon karbür, çeşitli difüzyon ve LPCVD işlemlerinde yaygın olan klor, HCL veya amonyak gibi aşındırıcı gazlara uzun süreli maruz kaldıktan sonra bile bütünlüğünü korur. Olağanüstü aşınma ve oksidasyon direnci, partikül üretimini büyük ölçüde azaltır ve gofret yüzeylerinin kontaminasyon ve kusur oluşumundan korunmasına yardımcı olur.

SIC dikey tekneler de ultra temiz işleme açısından önemli bir fayda sunmaktadır. Yüksek saflıkta SIC malzemesi, yarı iletken cihazların operasyonel özelliklerine müdahale edebilen tanımlanabilir iz kontaminasyon metallerini azaltmak için sıkı bir gayret altında işlenir. SIC dikey tekne yüzeyleri, mikro parçacık dökülme şansını en aza indiren sağ açılı özelliklerle iyi bir şekilde tamamlanmıştır. SIC yüzeyleri kimyasal olarak inerttir ve proses gazları ile reaksiyona girmez ve bu nedenle kontaminasyona daha az eğilimlidir. Bu bağlamda, SIC dikey tekneler çizginin ön ucu (Feol) ve hat (BEOL) gofret işleme işlemleri için çok uygundur.

SIC dikey tekneler de tasarım esnekliği sunar. Her dikey tekne, birden fazla gofret çapını (150 mm, 200 mm veya 300 mm gofret) barındırmak için tasarıma özgü olabilir ve işlem gereksinimlerini karşılamak için yuva numarası ve aralığı kullanılabilir. Hassas işleme ve boyutsal kontrol, yükleme, işleme ve boşaltma sırasında herhangi bir mikro çizim veya stres çatlaklarının olasılığını en aza indiren uygun gofret hizalaması ve gofret desteğine izin verir. Ayrıca, belirli bir işlem için üstün sıcaklık homojenliği ve / veya daha az termal kütle gerekiyorsa, herhangi bir mekanik özellikten ödün verilmeden SIC dikey tekne konfigürasyonlarına optimize edilmiş geometriler ve yuva tasarımları dahil edilebilir.

Diğer bir avantaj da bakım ve operasyonel verimliliktir. Katı yapısıSicDikey tekneler, yedek süreyi ve sıklığı azaltır, böylece kesinti veya sahiplik maliyetini en aza indirir. SIC'nin termal şok direnci, daha kısa ısıtma ve soğutma döngülerinin üretim hatlarında daha yüksek verim sağlamasına izin verir. SIC dikey teknelerin bakımı veya temizliği de çok basittir; Malzeme, asitlerle kimyasal temizlik ve yüksek sıcaklıkta fırında çıkma gibi yarı iletken fablarda yaygın olan en geleneksel ıslak veya kuru temizleme işlemlerine dayanabilir.

Süreçte verim iyileştirmesi, kontaminasyon kontrolü ve stabilitesinin tüm önemi olduğu bu modern sofistike yarı iletken üretim çağında, sic dikey tekneler gerçek bir teknolojik avantaj sunar. Dikey fırın uygulamalarının fiziksel ve kimyasal zorluklarıyla iyi ilgilenirler ve gofret bütünlüğü, tutarlı sonuçlar ve ekipmanların daha uzun ömrü sağlayarak genel süreç optimizasyonuna katkıda bulunurlar.