SiC Gofret Kaseti

Kiremitli gofret teknesi olarak da bilinen Semicorex SiC gofret kaseti, 1200°C'yi aşan sıcaklıklarda oksidasyon, difüzyon ve tavlama işlemleri için özel olarak geliştirilmiştir. Kasetler, yüksek sıcaklıktaki fırın kullanımı sırasında birçok levha için aynı anda hizalamanın yanı sıra önemli bir mekanik destek sağlar ve termal stres sırasında ve sonrasında büyük mekanik ve boyutsal stabilite sergiler.  Yarı iletken cihazların boyutu küçüldükçe ve performansları arttıkça levha işleme sistemleri için ultra saf ve termal olarak kararlı malzemelere olan talep artıyor.

Kaset yüksek saflıkta yapılmıştırsilisyum karbürDaha da büyük faydalar sağlamak için uygulanabilecek kaplamalar da vardır. SiC mükemmel termal şoka, korozyona ve boyutsal deformasyon stabilitesine sahiptir.  SiC benzersiz bir sertliğe, kimyasal inertliğe ve termal iletkenliğe sahip olduğundan bu proses ortamı için ideal bir malzemedir. Kuvars ve alümina alternatiflerine göre SiC, yüksek işlem sıcaklıklarında mekanik ve kimyasal özelliklerini azaltmaz, böylece kirlenme riskini azaltır ve üretim süreçleri sırasında levha işlem homojenliğini artırır.

SiC levha kasetinin ultra yüksek saflığı, proses odasına giren metalik veya iyonik kirletici maddelere karşı direnç gösterir; Gelişmiş yarı iletken üretim süreçlerinin süreç gereksinimlerini karşılamak amacıyla yüksek saflık için kesinlikle gerekli olan bir şey. Kirletici madde kaynaklarını en aza indirerek silisyum karbür kasetler levha verimini ve cihazın güvenilirliğini artıracaktır.

Semicorex'in hassas işleme teknolojisi, her kasetin dar toleranslarla, tekdüze yuva aralığıyla ve paralel hizalamayla üretilmesine olanak tanır. Malzemelerin hassas şekilde işlenmesi, levhaların düzgün şekilde yüklenmesini ve boşaltılmasını destekler, bu da levhaları tutarken çizilme olasılığını azaltır. Hassas yuva aralığı, tüm levhalar boyunca eşit sıcaklık ve hava akışına olanak tanır; bu da proses değişkenliğini azaltırken oksidasyon ve difüzyonda eşitliği destekler.

SiC mükemmel termal iletkenliğe, boyutsal stabiliteye sahiptir ve tekrarlanan termal döngüler altında güvenilir performans sağlar. Malzeme stabildir ve bükülmez veya çatlamaz; Yüksek sertliği, uzun süreler boyunca yüksek sıcaklıkta yapısal bütünlüğü korur, levhalar üzerindeki mekanik gerilimi önemli ölçüde azaltırken sürtünme veya mikro titreşim nedeniyle kullanımdan kaynaklanan istenmeyen parçacıkların olasılığını sınırlar.

Ek olarak,SiCKimyasallara karşı inertliği, levhaları tipik olarak işleme sırasında yer alan işlem gazlarına (örn. oksijen, hidrojen, amonyak) karşı reaksiyona girmekten korur. Gofret kasetleri oksitleyici ve oksitleyici olmayan atmosferlerde stabildir ve oksidasyon, difüzyon, LPCVD ve tavlama gibi bir dizi işlem boyunca fırın iş akışına dahil edilebilir.

Spesifik proses gereksinimlerini karşılamak için Semicorex, çeşitli boyutlarda, yuva sayılarında ve konfigürasyonlarda özelleştirilmiş SiC levha kasetleri sunmaktadır. Her ünite pürüzsüzlüğü, temizliği ve boyutsal doğruluğu sağlamak için sıkı kalite kontrolünden ve yüzey işleminden geçer. İsteğe bağlı yüzey parlatma, parçacık oluşumunu daha da azaltır ve otomatik levha işleme sistemleriyle uyumluluğu artırır.