Silikon Karbür Tekneleri

Semicorex silikon karbür tekneleri, olağanüstü termal stabilite sergiler ve oksidasyon ve difüzyon süreçleri için gereken aşırı sıcaklıklara dayanmalarını sağlar. Mükemmel termal şok dirençleri, uzun süreli operasyonel uzun ömür sağlayarak çatlama veya deformasyon riskini en aza indirir. Yüksek yoğunluklu SIC bileşimi, sürekli termal döngü altında bile yapısal bütünlüğü koruyarak üstün mekanik mukavemet sağlar. Mekanik strese karşı bu olağanüstü direnç, gofret kontaminasyonu ve kırılma olasılığını azaltarak daha yüksek işlem verimlerine katkıda bulunur. Ayrıca, SIC tekneleri, oksidasyon ve difüzyon aşamalarında kullanılan agresif proses gazlarına inert kalan olağanüstü kimyasal dirence sahiptir. Bu karakteristik, gofret saflığını ve üretim verimliliğini tehlikeye atabilecek istenmeyen reaksiyonları önler.

Silikon karbür tekneleri öncelikle oksidasyon ve difüzyon fırınlarında kullanılır, burada yüksek sıcaklıklara ve reaktif gazlara gofret maruziyeti üzerinde kesin kontrol gereklidir. Termal oksidasyon sırasında gofretleri, yüksek kaliteli silikon dioksit tabakaları yetiştirmek ve dopant gazlara kontrollü maruz kalma yoluyla düzgün dopingi kolaylaştırmak için desteklerler. Ek olarak, tavlama ve uzun süreli ısıya maruz kalma gerektiren diğer yüksek sıcaklık tedavileri için istikrarlı bir platform sağlarlar.

Geleneksel kuvars ve grafit teknelerle karşılaştırıldığında, silikon karbür tekneleri eşsiz dayanıklılık, uzun ömür ve performans sunar. Kirlenmeyi en aza indirirken sert termal ve kimyasal ortamlara dayanma yetenekleri, onları yüksek hassasiyetli yarı iletken üretimi için tercih edilen seçim haline getirir. Kalite ve yeniliğe odaklanarak, silikon karbür teknelerimiz üstün performans sunarak dünya çapında yarı iletken üreticileri için yüksek verim ve verimli gofret işleme sağlar. İster gelişmiş düğüm teknolojileri isterse eski yarı iletken imalat olsun, bu tekneler sıkı endüstri gereksinimlerini karşılamak için güvenilir bir çözüm sunar.

(1) Taşıma ve Koruma: Silikon karbür tekneleri, iç parantezleri veya yuvaları aracılığıyla gofret gibi yarı iletken malzemeler taşır ve gofretleri dış ortamdan korumak için silikon karbür malzemelerinin yüksek sıcaklık ve korozyon direncini kullanır.

(2) Düzgün ısıtma: Silikon karbür teknesi, içerideki gofretlerin ısıl işlem işlemi sırasında eşit olarak ısıtılmasını sağlar. Bu, gofretin her bir parçasının sıcaklığının ve reaksiyon hızının ısı işlemi işlemi sırasında tutarlı kalmasını ve böylece gofretin verimini ve kalitesini iyileştirmesine yardımcı olur.

Şu anda üç ana tür varsilikon karbür seramikMalzemeler: Reaksiyon sinterleme, basınçsız sinterleme ve yeniden kristalleşme sinterleme. Çoğu uygulamada, reaksiyon sinterlenmiş silikon karbür daha uygun ve uygun maliyetli bir üründür. Yeniden yeniden kristalleştirilmiş SIC tekneleri genellikle birkaç birim parçayı sinterler ve işler, daha sonra parçaları yüksek sıcaklıkta bir teknede birleştirmek için SI macunu kullanın ve son olarak CVD-SIC kaplamasını (yaklaşık 100'ler) uygular. Yeniden kristalleştirme gözenekli olduğundan, SIC kaplama yoksa, yarı iletken işlemine kısıtlamalar da getirecektir. CVD-SIC kaplamalı bu tip yeniden kristalize edilmiş SIC teknesi en uzun üretim sürecine sahiptir ve çok pahalıdır. SIC kaplı grafit teknelerle karşılaştırıldığında, CVD-SIC kaplı yeniden kristalize edilmiş SIC teknelerinin CTE uyumsuzluğu sorunu yoktur.