Silisyum Karbür Kaset Tekneler

Semicorexsilisyum karbür kaset teknelerbirden fazla yarı iletken levhayı güvenli ve hassas bir şekilde tutan, aktaran ve işleyen, sağlam ve yüksek mukavemetli yapısıyla vazgeçilmez taşıma bileşenleridir. Tutarlı işleme sonuçları için optimize edilmiş ısı ve gaz akışı dağılımını sağlamak amacıyla çeşitli yüksek sıcaklıklı yarı iletken işlemlerde yaygın olarak kullanılırlar.

Özenle seçilmiş hammadde

Yüksek sıcaklıkta sinterleme yoluyla yarı iletken dereceli silisyum karbür tozundan hassas bir şekilde üretilen Semicorex silisyum karbür kaset tekneleri aşağıdaki mükemmel özelliklere sahiptir.

1.Ultra yüksek saflık:Substratın safsızlık içeriği 100 PPM'nin altında olacak şekilde kontrol edilir ve safsızlık seviyesiCVD silisyum karbürkaplama 1 PPM'den daha azına ulaşabilir.

2.Güvenilir korozyon direnci:Silisyum karbür seramik, güçlü korozyon direnci sağlar ve çoğu asitten (hidroklorik asit, sülfürik asit ve hidroflorik asit gibi), alkalilerden (kostik soda gibi), solventlerden ve oksitleyici ortamlardan kaynaklanan korozyona karşı dayanıklıdır.

3.Olağanüstü termal yönetim kapasitesi:Olağanüstü termal direnç ve düşük termal genleşme katsayısı ile silisyum karbür kaset tekneler, 1250 °C civarındaki yüksek sıcaklıkta uzun süreli çalışma koşullarına maruz kaldıklarında bile kimyasal özelliklerini ve mekanik mukavemetlerini koruyabilirler.

Hassas Mühendislik Yapısı

1. Yatay çerçeve yapısı:Semicorex silisyum karbür kaset teknelerin yatay çerçeve yapısı, yatay yüksek sıcaklık fırın tüplerine mükemmel uyum sağlamalarını sağlar.

2. Eşit aralıklı yuva çentikleri:Çok sayıda eşit aralıklı yuva çentiğine sahip olan Semicorex silisyum karbür kaset tekneleri, levhayı sıkı bir şekilde yerinde tutabilir, bu da istenmeyen çizikleri, aşınmaları ve levhanın yer değiştirmesinden kaynaklanan hasarları önemli ölçüde önleyebilir, böylece yarı iletken proses stabilitesini ve levha verimini etkili bir şekilde sağlar.

3. Çok yuvalı tasarım:Birden fazla levhayı taşıyacak şekilde tasarlanan çoklu yuvalar, Semicorex silisyum karbür kaset teknelerinin tek partili işleme verimini ve genel üretim verimliliğini artırmasına olanak tanır.

4. Açık mimari:Semicorex silisyum karbür kaset tekneleri, düzgün gaz dağıtımı ve yeterli reaksiyon teması elde edilmesine yardımcı olan ve böylece tutarsız proses sonuçlarını etkili bir şekilde en aza indiren iyi düşünülmüş açık mimariyle donatılmıştır.