Silisyum karbür seramikkanatlar tipik olarak fırın açıklığının veya işlem odasının yakınına, bir ucu sabit ve diğer ucu fırının veya işlem odasının içine uzanacak şekilde monte edilir. İşlemenin çalıştırılması sırasında, silisyum karbür seramik kanatlar, levhaları taşıyan levha taşıyıcısını fırının veya işlem odasının içindeki belirlenen konuma hassas bir şekilde konumlandırır. İşleme sonrasında, dirsekli kanatlar taşıyıcıyı alır ve onu fırından veya odadan dışarı çıkarır ve bir sonraki taşıma aşaması için robotik kola teslim eder.

Semicorex silisyum karbür seramik küreklerin avantajları

1. Üstün özellikler ve güvenilir kalite

Semicorex silisyum karbür seramik kürekler, mükemmel yüksek sıcaklık stabilitesi, yüksek mukavemet, yüksek sertlik, kimyasal stabilite ve düşük termal genleşme katsayısı sunar. Bu üstün özellikleriyle Semicorex silisyum karbür seramik kürekler, yüksek sıcaklıklar, şiddetli korozyon, ağır yükleme ve sık mekanik çalıştırma gibi zorlu çalışma koşullarına uzun süre dayanabilir.

2. Hassas destek ve taşıma

Mükemmel destekleme ve taşıma performansına güvenen Semicorexsilisyum karbür seramik küreklerGofretlerin fırın tüplerine göre eşmerkezli olmasını sağlamak için gofret taşıyıcılarını yerine doğru bir şekilde sabitleyebilir, bu da süreç sırasında levhanın sallanması ve yanlış hizalanmasından kaynaklanan süreç tutarsızlığını önemli ölçüde azaltır.

3. Yüksek verimli otomatik çalışma

Semicorex silisyum karbür seramik kürekler, hızlı levha yükleme ve boşaltma işlemini gerçekleştirmek için tipik olarak robotik otomatik yükleme ve taşıma sistemleriyle birlikte çalışır. Bu, yarı iletken ve fotovoltaik üretimdeki proses döngülerini önemli ölçüde kısaltır, üretim verimliliğini artırır ve manuel çalıştırma maliyetlerini ve hata risklerini azaltır.

Semicorex silisyum karbür seramik küreklerin uygulamaları

1. Fotovoltaik hücre üretimi

Semicorex silisyum karbür seramik kanatlar, TOPCon ve PERC hücrelerinin difüzyonu, LPCVD'si ve PECVD'si gibi fotovoltaik hücrelerin termal işlemlerine çok uygundur. Sürecin tekdüzeliğini ve kararlılığını sağlayarak bu kanatlar, fotovoltaik hücre dönüşüm verimliliğinin geliştirilmesine katkıda bulunur.

2. Yarı iletken çip üretimi

Temel destekleyici ve taşıma bileşenleri olarak duran Semicorex silisyum karbür seramik kürekler, yarı iletken çip üretimi sırasında litografi, gravür ve biriktirme gibi işlemlerde daha geniş bir şekilde uygulanarak, levhaların sürekli stabil aktarımını ve hassas konumlandırılmasını sağlar.