Semicorex, hem dikey / sütun hem de yatay konfigürasyonlar için gofret tekneleri, kaideler ve özel gofret taşıyıcıları sağlar. Uzun yıllardır silisyum karbür kaplama filmi üreticisi ve tedarikçisiyiz. Silisyum karbür seramik gofret teknemiz iyi bir fiyat avantajına sahiptir ve Avrupa ve Amerika pazarlarının çoğunu kapsamaktadır. Çin'deki uzun vadeli ortağınız olmayı sabırsızlıkla bekliyoruz.
Semicorex silisyum karbür seramik levha teknesi, yarı iletken üretiminde levha işleme ve koruma için nihai çözüm.
Silisyum karbür seramik gofret teknemiz, korozyona karşı iyi bir dirence ve yüksek sıcaklıklara ve termal şoka karşı mükemmel dirence sahip, CVD yöntemi kullanılarak silisyum karbür (SiC) tabakasıyla kaplanmış yüksek kaliteli malzemeden yapılmıştır. Gelişmiş seramikler, yüksek kapasiteli levha taşıyıcılar için parçacıkları ve kirletici maddeleri azaltırken mükemmel termal direnç ve plazma dayanıklılığı sağlar.
Silisyum karbür seramik gofret teknesinin parametreleri
Teknik Özellikler |
||||
Dizin |
Birim |
Değer |
||
Malzeme Adı |
Reaksiyon Sinterlenmiş Silisyum Karbür |
Basınçsız Sinterlenmiş Silisyum Karbür |
Yeniden Kristalize Silisyum Karbür |
|
Kompozisyon |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
Yığın Yoğunluğu |
g/cm3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2.60-2.70 |
Eğilme Dayanımı |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C) 90-100(1400°C) |
Basınç Dayanımı |
MPa (kpsi) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
Sertlik |
Düğme |
2700 |
2800 |
/ |
Azmi Kırmak |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Isı İletkenliği |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
Termal Genleşme Katsayısı |
10-60,1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Özgül Isı |
Joule/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Havadaki maksimum sıcaklık |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Elastik Modül |
not ortalaması |
360 |
410 |
240 |
SSiC ve RBSiC arasındaki fark:
1. Sinterleme işlemi farklıdır. RBSiC, serbest Si'yi düşük sıcaklıkta silisyum karbürün içine sızdırmaktır, SSiC 2100 derecede doğal büzülme ile oluşur.
2. SSiC daha pürüzsüz bir yüzeye, daha yüksek yoğunluğa ve daha yüksek dayanıklılığa sahiptir; daha katı yüzey gereksinimleri olan bazı sızdırmazlıklar için SSiC daha iyi olacaktır.
3. Farklı PH ve sıcaklıkta farklı kullanım süresi, SSiC, RBSiC'den daha uzundur
Silisyum Karbür Seramik Gofret Teknesinin Özellikleri
Üstün ısı direnci ve termal homojenlik
Pürüzsüz bir yüzey için ince SiC kristal kaplı
Kimyasal temizlemeye karşı yüksek dayanıklılık
Malzeme çatlak ve delaminasyon oluşmayacak şekilde tasarlanmıştır.