Silisyum Karbür Seramik Gofret Tekne

Semicorex, hem dikey / kolon hem de yatay konfigürasyonlar için gofret botları, kaideler ve özel gofret taşıyıcıları sağlar. Uzun yıllardır silisyum karbür kaplama filmi üreticisi ve tedarikçisiyiz. Silisyum karbür seramik gofret teknemiz iyi bir fiyat avantajına sahiptir ve Avrupa ve Amerika pazarlarının çoğunu kapsamaktadır. Çin'deki uzun vadeli ortağınız olmayı dört gözle bekliyoruz.

Talep Gönder

Ürün Açıklaması

Semicorex silisyum karbür seramik gofret teknesi, yarı iletken üretiminde levha taşıma ve koruma için nihai çözüm.
Silisyum karbür seramik gofret teknemiz, korozyona karşı iyi bir dirence ve yüksek sıcaklıklara ve termal şoka karşı mükemmel dirence sahip CVD yöntemiyle kullanılan bir silisyum karbür (SiC) tabakası ile kaplanmış yüksek kaliteli malzemeden yapılmıştır. Gelişmiş seramikler, yüksek kapasiteli gofret taşıyıcıları için parçacıkları ve kirleticileri azaltırken mükemmel termal direnç ve plazma dayanıklılığı sağlar.

Silisyum karbür seramik gofret teknesinin parametreleri

Teknik Özellikler
dizin	Birim	Değer
Malzeme Adı		Reaksiyon Sinterlenmiş Silisyum Karbür	Basınçsız Sinterlenmiş Silisyum Karbür	Yeniden Kristalize Silisyum Karbür
Kompozisyon		RBSiC	SSiC	R-SiC
Kütle yoğunluğu	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2.60-2.70
Bükülme mukavemeti	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C)90-100(1400°C)
Basınç Dayanımı	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Sertlik	Knoop	2700	2800	/
Azim kırma	MPa m1/2	4.5	4	/
Termal iletkenlik	W/m.k	95	120	23
Termal Genleşme katsayısı	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Özısı	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Havadaki maksimum sıcaklık	℃	1200	1500	1600
Elastik modülü	ortalama	360	410	240

SSiC ve RBSiC arasındaki fark:

1. Sinterleme işlemi farklıdır. RBSiC, serbest Si'yi düşük bir sıcaklıkta silisyum karbür içine sızmaktır, SSiC, 2100 derecede doğal büzülme ile oluşturulur.

2. SSiC, daha katı yüzey gereksinimleri olan bazı contalar için daha pürüzsüz bir yüzeye, daha yüksek yoğunluğa ve daha yüksek dayanıklılığa sahiptir, SSiC daha iyi olacaktır.

3. Farklı PH ve sıcaklıkta farklı kullanım süresi, SSiC, RBSiC'den daha uzundur

Silisyum Karbür Seramik Gofret Teknesinin Özellikleri

Üstün ısı direnci ve termal homojenlik
Pürüzsüz bir yüzey için ince SiC kristal kaplama
Kimyasal temizlemeye karşı yüksek dayanıklılık
Malzeme çatlama ve delaminasyon oluşmayacak şekilde tasarlanmıştır.