Silisyum Karbür Seramik Gofret Tekneleri

Birinci sınıf malzeme seçimi

Semicorex silisyum karbür seramiğin mükemmel özelliklerigofret tekneleriyüksek kaliteli hammaddelere atfedilebilir. Yarı iletken dereceli SiSiC malzemeden yapılmış ve CVD SiC kaplamayla kaplanmış Silisyum karbür seramik levha tekneleri aşağıdaki mükemmel özellikleri sergiler.

1.Ultra yüksek saflıkta, metal yabancı madde salınımından arındırılmış

Substrat kirliliği: <100 ppm

CVD SiC kaplama safsızlığı: <1 ppm

2.Üstün termal stabilite

Silisyum karbür seramik gofret tekneleri, 1250°C yüksek sıcaklık koşullarında istikrarlı bir şekilde performans göstererek minimum deformasyon ve sürünme direnci sağlar.

3.Yüksek mekanik mukavemet

Silisyum karbürSemicorex silisyum karbür seramik levha teknelerinin çizilmelere, aşınmalara ve hasarlara karşı direnç göstermesini sağlayan yüksek sertliğe ve aşınma direncine sahiptir, bu sayede uzun süreli çalışma sırasında iyi performans gösterir ve hasara karşı dayanıklıdır.

4. Olağanüstü korozyon direnci

Silisyum karbür, güçlü asitler ve alkalilerden kaynaklanan korozyona karşı dayanıklı olduğundan, Semicorex silisyum karbür seramik levha tekneleri, son derece aşındırıcı çalışma koşulları altında bile yapısal bütünlüğünü ve işlevsel performansını koruyabilir.

Optimize edilmiş yapısal tasarım

Semicorex silisyum karbür seramik levha tekneleri, toplu levha işleme için tasarlanmıştır; optimize edilmiş yapısal çerçeveleri, her levha için istikrarlı toplu levha desteği ve tutarlı işlem stabilitesi sağlar.

1,3 direkli dikey destek yapısı

Semicorex silisyum karbür seramik gofret teknelerinin dikey yapısı, dikey fırın uygulamalarına kusursuz şekilde uyum sağlamalarını sağlar. Bu yapıyla, emicorex silisyum karbür seramik levha tekneleri, proses gazlarının homojen sirkülasyonunu ve yüksek sıcaklık fırını içinde termal enerjinin eşit dağılımını kolaylaştırabilir.

2. Düzgün dağıtılmış yuva kıstırmaları

Semicorex silisyum karbür seramik levha tekneleri, destek direklerinde çok sayıda hassas işlenmiş yuva kıskacıyla donatılmıştır. Eşit aralıklarla yerleştirilmiş yuva kıskaçları, silikon karbür seramik levha teknelerinin yarı iletken levhaları sıkı bir şekilde sabitlemesini sağlayan uygun yuva aralığını sağlar ve böylece levha termal işlem sonuçlarının tutarlılığının iyileştirilmesine katkıda bulunur.

Pek çok mükemmel performans ve fonksiyona sahip olan Semicorex silisyum karbür seramik levha tekneleri, oksidasyon, difüzyon, iyon implantasyonu ve yüksek sıcaklıkta tavlama gibi yarı iletken levha üretiminin temel işlemlerinde yaygın olarak kullanılmaktadır.