Silikon Karbür Vakum Chuck

Semicorex Silikon Karbür Vakum Chuck, yüksek hassasiyet ve düşük kontaminasyona ihtiyaç duyan işlemler için yarı iletken üretiminin önemli bir parçasıdır. Vakum aynaları, yüksek saflıkta gözenekli silikon karbür seramiklerinden imal edilir ve mükemmel mekanik mukavemet, termal iletkenlik ve kimyasal atıllık sağlar ve güvenilir vakum tutma için doğru kontrollü bir gözenek yapısına sahiptir. Silikon karbür vakum aynası, iş parçasının stabil bir şekilde kavramak için vakum negatif basıncı, elektrostatik adsorpsiyon veya mekanik sıkıştırmaya dayanan bir silikon karbür (sic) seramik malzemeden yapılmış fonksiyonel bir adsorpsiyon cihazıdır. Vakum aynaları yarı iletkenler, fotovoltaikler, hassas üretim ve malzeme yüksek sıcaklık direnci, aşınma direnci ve temizlik için olağanüstü yüksek taleplere sahip diğer uygulamalarda kullanılır.

Tabanıpalavrayüzeyinde öngörülebilir bir hava geçirgenliği olan gözenekli bir sic malzemedir. Bu, mekanik sıkıştırma olmadan bir gofretin güvenli bir şekilde adsorbe edilmesi ve bu nedenle numunenin fiziksel hasar veya kontaminasyon potansiyelini önemsizleştirmenin mümkün olduğu anlamına gelir. Malzemenin gözenekliliği sıkı bir şekilde kontrol edilir - tipik olarak% 35-40'lık bir gözenekliliğe sahip - uygun vakum dağılımı sağlamak için, aynı zamanda dayanıklı termal ve mekanik döngü için yapısal gereksinimleri karşılamaktadır.

Gofret vakum aynalarıgenellikle yüzeyde birçok küçük delik veya kanal bulunan sert bir yüzeyden yapılır. Bu küçük delikler aracılığıyla, mandren bir vakum efekti oluşturan bir vakum pompasına bağlanabilir. Gofret aynaya yerleştirildiğinde, vakum pompası açılır ve hava küçük deliklerden çekilir, bu da gofret ve ayna arasında bir vakum oluşturur. Bu vakum efekti, gofreti mandren yüzeyine sıkıca bağlamak için yeterli emme yaratır.

Seramik yüzeyler genellikle yüksek saflık ve kimyasal stabilite gerektiren uygulamalarda kullanılır. Seramikler, minerallerin yüksek sıcaklık füzyonu ile üretilen malzemelerdir. Genel olarak konuşursak, seramikler elektrik izolatörleri veya yarı iletkenlerdir ve termal bozulma, erozyon ve hasara karşı yüksek dirence sahiptir.

Semicorex, Müşterinin boyutlar, gözeneklilik, yüzey kaplaması ve vakum kanallaması için desenler gibi özelliklerine özel silikon karbür vakum aynası oluşturur. Üretim ve temiz oda yeteneklerimizin bir sonucu olarak, tüm yarı iletken fab ve ekipman üreticilerinin temizlik gereksinimlerini karşılamak için düşük partikül dökülme ve temizlikte en iyisini sunuyoruz.

2 inç ila 12 inç gofretler arasında herhangi bir beden gofret için bir mandrey yapabilir ve chuck'ı çok sayıda gofret işleme ekipmanına entegre etmek için uyum sağlayabiliriz. Ön uç işlemler ve/veya arka uç işlemler için kullanılabilir, bu da SIC vakumunu yarı iletken Fab iş akışında ekonomik, hassas, kararlı ve kontaminasyon içermeyen gofret desteği aracı hale getirir.

Silikon karbür vakum aynası, günümüzün yarı iletken üretiminde en iyi malzemeleri ve mühendisliği birleştiren önemli bir araçtır. Termal ve kimyasal uçlar yoluyla dayanıklı ve yapışkan güvenilirlik, onu ağda, inceltme, temizleme ve RTA gibi işlem uygulamalarında mükemmel bir destek haline getirir. Yarı silikon karbür vakum mandreninizi yarı yoldan temin ederek, tüm gofret işleme hatlarınızda üstün sonuçlar için en iyi malzeme saflığını, özel çözümleri ve güvenilir performansı sağlarsınız.