Semicorex, yarı iletken endüstrilerindeki silikon karbür katmanlara odaklanan OEM yarı imalat araçlarınız ve levha işleme bileşenleriniz için yarı iletken sınıfı seramikler sağlar. Uzun yıllardır Silikon Gofret Taşıyıcı üreticisi ve tedarikçisiyiz. Silikon Gofret Taşıyıcımız iyi bir fiyat avantajına sahiptir ve Avrupa ve Amerika pazarlarının çoğunu kapsamaktadır. Çin'deki uzun vadeli ortağınız olmayı sabırsızlıkla bekliyoruz.
Yarı iletken biriktirme işlemleri, yüksek kaliteli ince filmleri levhaların üzerine katmanlamak için uçucu öncü gazlar, plazma ve yüksek sıcaklığın bir kombinasyonunu kullanır. Biriktirme odaları ve levha işleme araçlarının, bu zorlu ortamlara dayanabilmesi için dayanıklı seramik bileşenlere ihtiyacı vardır.
Semicorex Silikon Gofret Taşıyıcı, yüksek korozyon ve ısı direnci özelliklerinin yanı sıra mükemmel termal iletkenliğe sahip, yüksek saflıkta silisyum karbürdür.
Silikon Gofret Taşıyıcının Parametreleri
Teknik Özellikler |
||||
Dizin |
Birim |
Değer |
||
Malzeme Adı |
Reaksiyon Sinterlenmiş Silisyum Karbür |
Basınçsız Sinterlenmiş Silisyum Karbür |
Yeniden Kristalize Silisyum Karbür |
|
Kompozisyon |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
Yığın Yoğunluğu |
g/cm3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2.60-2.70 |
Eğilme Dayanımı |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C) 90-100(1400°C) |
Basınç Dayanımı |
MPa (kpsi) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
Sertlik |
Düğme |
2700 |
2800 |
/ |
Azmi Kırmak |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Isı İletkenliği |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
Termal Genleşme Katsayısı |
10-60,1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Özgül Isı |
Joule/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Havadaki maksimum sıcaklık |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Elastik Modül |
not ortalaması |
360 |
410 |
240 |
SSiC ve RBSiC arasındaki fark:
1. Sinterleme işlemi farklıdır. RBSiC, serbest Si'yi düşük sıcaklıkta silisyum karbürün içine sızdırmaktır, SSiC 2100 derecede doğal büzülme ile oluşur.
2. SSiC daha pürüzsüz bir yüzeye, daha yüksek yoğunluğa ve daha yüksek dayanıklılığa sahiptir; daha sıkı yüzey gereksinimleri olan bazı sızdırmazlıklar için SSiC daha iyi olacaktır.
3. Farklı PH ve sıcaklıkta farklı kullanım süresi, SSiC, RBSiC'den daha uzundur
Silikon Gofret Taşıyıcının Özellikleri
Yüksek saflıkta SiC kaplı grafit
Üstün ısı direnci ve termal homojenlik
Pürüzsüz bir yüzey için ince SiC kristal kaplı
Kimyasal temizlemeye karşı yüksek dayanıklılık
Malzeme çatlama ve delaminasyon oluşmayacak şekilde tasarlanmıştır.
Silisyum karbür seramiklerin mevcut şekilleri:
● Seramik çubuk / seramik pim / seramik piston
● Seramik boru / seramik burç / seramik manşon
● Seramik halka / seramik rondela / seramik ara parçası
● Seramik disk
● Seramik plaka / seramik blok
● Seramik top
● Seramik piston
● Seramik nozul
● Seramik pota
● Diğer özel seramik parçalar