Vakum Chucks

Semicorex vakum aynaları, yarı iletken üretim süreçlerinde gofretlerin güvenli, istikrarlı ve verimli kullanımını sağlamak için tasarlanmış hassas mühendislik çözeltileridir. Bu vakum aynaları esas olarak çeşitli işlem aşamalarında gofret tutmak için kullanılır, bu da gofretlere minimum hasar, maksimum stabilite ve gelişmiş süreç verimliliği sağlar. Vakum aynalarımız, yarı iletken endüstrisinin ve diğer hassas endüstrilerin farklı ihtiyaçlarını karşılamak için özel çözümler sunan çeşitli taban malzemeleri ve seramik plakalarda mevcuttur.

Temel özellikler ve malzemeler

Semicorex, vakum aynası için belirli uygulama gereksinimlerine dayalı özelleştirmeye izin veren bir dizi temel malzeme seçeneği sunar:

Temel Malzemeler:

• SUS430: Mükemmel mekanik stabilite sağlayan mukavemet ve korozyon direnci ile bilinen paslanmaz çelik taban malzemesi.
• Alüminyum Alaşım 6061: Hafif ama güçlü olan bu alüminyum taban, yüksek korozyon direnci sunar ve ağırlığın endişe kaynağı olduğu uygulamalar için idealdir.
• Alümina Seramik (% 99 alümina): Yüksek termal stabilite ve aşınma direnci sunar. Termal direncin kritik olduğu yüksek hassasiyetli ortamlar için mükemmel bir seçimdir.
• Granit: Rijitliği ve üstün titreşim damping özellikleri ile tanınan granit, gofret taşıma sırasında mükemmel stabilite ve hassasiyet sunar.
• Silikon karbür (sic) seramik: Yüksek sertlik, termal iletkenlik ve kimyasal korozyona karşı direnç sunar. Yüksek sıcaklık ve agresif ortamlar için mükemmeldir.

Seramik Plakalar:

Alümina (al₂o₃): Alümina plakaları, yüksek elektrik yalıtım özellikleri, aşınma direnci ve yüksek sıcaklık stabilitesi ile bilinir. Minimal kontaminasyon ve yüksek performansın çok önemli olduğu ortamlar için uygundur.

Silikon karbür (sic): SIC seramik plakaları, yüksek sıcaklıklarda olağanüstü sertlik, yüksek termal iletkenlik ve stabilite sağlar, bu da onları yarı iletken üretiminde ileri gofret taşıma süreçleri için ideal hale getirir.

Düzlük hassasiyeti ve malzeme seçimi

Chuck'ın yüzeyinin düzlüğü, uygun gofret taşıma ve optimal işlem sonuçlarının sağlanmasında kritik bir faktördür. Malzeme seçimi düzlük hassasiyetini ve vakum aynasının toplam ağırlığı ve termal özelliklerini etkiler.

Düzlük hassasiyeti:

Alüminyum Alaşım 6061: Hassasiyetle mükemmel bir düzlük sağlar, bu da onu daha az zorlu gofret taşıma görevleri için popüler bir seçimdir.

SUS430: Katı mekanik stabilite sunarken, SUS430 alüminyum alaşımından biraz daha düşük bir düzlük hassasiyetine sahiptir.

Alümina Seramik (% 99 alümina): Yüksek sıcaklıklar ve mekanik stres altında yüksek boyutlu stabilitesi nedeniyle en iyi düzlük hassasiyetini sunar.

Granit: stabilitesi ile tanınan granit, özellikle titreşime duyarlı ortamlarda hassas düzlük sağlar.

Silikon Karbür Seramik: Olağanüstü düzlük hassasiyeti sağlar ve yüksek sıcaklık uygulamalarında yüksek hassasiyetli gofret kullanımı için idealdir.

Ağırlık Düşünceleri

Vakum aynasının ağırlığı, özellikle Chuck'ın elleçleme ve manipülasyon kolaylığının önemli bir husus olduğu uygulamalar için bir başka önemli faktördür.