Semicorex, hem dikey / sütun hem de yatay konfigürasyonlar için gofret tekneleri, kaideler ve özel gofret taşıyıcıları sağlar. Uzun yıllardır silisyum karbür kaplama filmi üreticisi ve tedarikçisiyiz. Yarı İletken Prosesi için Gofret Teknemiz iyi bir fiyat avantajına sahiptir ve Avrupa ve Amerika pazarlarının çoğunu kapsamaktadır. Çin'deki uzun vadeli ortağınız olmayı sabırsızlıkla bekliyoruz.
Yarı İletken Prosesi için Semicorex SiC Gofret Teknesi, yarı iletken üretiminde levha işleme ve koruma için nihai çözüm. Yarı iletken prosesine yönelik gofret teknemiz, korozyona karşı iyi bir dirence ve yüksek sıcaklıklara ve termal şoka karşı mükemmel dirence sahip olan yüksek kaliteli silisyum karbürden yapılmıştır. Gelişmiş seramikler, yüksek kapasiteli plaka taşıyıcıları için parçacıkları ve kirletici maddeleri azaltırken mükemmel termal direnç ve plazma dayanıklılığı sağlar.
Yarı İletken Prosesi için Gofret Teknesinin Parametreleri
Teknik Özellikler |
||||
Dizin |
Birim |
Değer |
||
Malzeme Adı |
Reaksiyon Sinterlenmiş Silisyum Karbür |
Basınçsız Sinterlenmiş Silisyum Karbür |
Yeniden Kristalize Silisyum Karbür |
|
Kompozisyon |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
Yığın Yoğunluğu |
g/cm3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2.60-2.70 |
Eğilme Dayanımı |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C) 90-100(1400°C) |
Basınç Dayanımı |
MPa (kpsi) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
Sertlik |
Düğme |
2700 |
2800 |
/ |
Azmi Kırmak |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Isı İletkenliği |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
Termal Genleşme Katsayısı |
10-60,1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Özgül Isı |
Joule/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Havadaki maksimum sıcaklık |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Elastik Modül |
not ortalaması |
360 |
410 |
240 |
Yarı İletken Prosesi için Gofret Teknesinin Özellikleri
Üstün ısı direnci ve termal homojenlik
Pürüzsüz bir yüzey için ince SiC kristal kaplı
Kimyasal temizlemeye karşı yüksek dayanıklılık
Malzeme çatlama ve delaminasyon oluşmayacak şekilde tasarlanmıştır.