Gofret tekneleri

Yüksek saflıkta silikon karbürden (sic) üretilen yarı gofret tekneleri, yarı iletkenlerin imalatında temel bileşenlerdir. Kullanıldıkları yarı iletken işlemler tipik olarak difüzyon, oksidasyon ve LPCVD işlemleri gibi yüksek sıcaklık ve aşındırıcı ortamları içerir. SIC gofret teknelerinin uygulanması, termal stabilite ve kimyasal direnci en üst düzeye çıkarmak için tasarlanmıştır, bu da optimum verim ve cihaz performansı için işleme sırasında silikon gofretlerin optimal destek, hizalanması ve taşınmasını sağlar.

Silikon karbür, yüksek mekanik mukavemet ve üstün termal şok direnci, oksidasyon direnci ve HF ve HCl gibi kimyasallarla agresif kimyasal direnç gösteren mükemmel bir termal olarak iletken seramik olarak iyi belgelenmiştir. SIC'nin özellikleri, özellikle yeni nesil yarı iletken imalat süreçleri ve yüksek sıcaklık ortamlarında gofret tekneleri için bir malzeme olarak çekici hale getirir. SIC gofret tekneleri, 1500 ° C'lik işlem sıcaklıklarında yapısal bütünlüğü ve boyutsal stabiliteyi koruyabilir, bu da kritik termal tedavilerde gofretlerin çözülme veya kirlenme riskini en aza indirebilir.

Her sicgofret tekneYüksek saflıkta SIC'den gelişmiş seramik oluşturma ve sinterleme işlemleri kullanılarak üretilir ve dikey veya yatay olsun, çok çeşitli gofret çapları (100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm) ve istifleme konfigürasyonları için uyarlanabilir. SIC gofret teknelerimiz, parçacık üretimini en aza indiren ve otomatik gofret taşıma sistemleri için ideal olan pürüzsüz yüzeylere ve mükemmel düzlüklere sahiptir.

Kontaminasyon kontrolü ve verimi, modern FABS'deki en kritik sorunlardan ikisidir. SIC gofret taşıyıcılarının temizliği ve güvenilirliği ürün kalitesi ve tutarlılık süreci performansını etkiler.  SIC gofret tekneleri kullanım için çok daha uzun ömürlüdür, kuvars veya alümina bazlı alternatiflerden daha az bakım gereksinimine ve daha düşük TCO'ya sahiptir. Daha iyi uzun ömür, mikro-partikül dökülmesinde daha az sorun anlamına gelir, bu nedenle yine gofret yüzeyinin temizliğini etkilemek ve temiz oda temizliğini etkilemek.

Semicorex, düşük kontaminasyon atmosferi sinterleme ile birlikte mümkün olan en yüksek saflık hammaddelerini kullanan SIC gofret tekneleri tasarlamaya ve üretmeye odaklanmıştır.  Düşük safsızlık seviyelerini korumak, gözenekliliği düşük değerde korumak ve düzgün mikro yapı sağlamak için her türlü çabayı gösteriyoruz, böylece ekibin çalışması düzenli olarak tutarlı termal özellikler, hassas gofret aralığı ve rakipsiz kimyasal bozunma direncinden yararlanabilir.

SEMICOREX SICgofret tekneleriyarı iletkenlerin yüksek sıcaklık işlenmesinin gerekli bir unsurudur. Yüksek saflıkta silikon karbonhidratlı gofret tekneleri, benzersiz malzeme özelliklerine, tasarlanmış mükemmellik ve mikro kontaminasyonsuz mizaçlara sahiptir, onları yüksek performanslı gofret imalatı için üst düzey seçim haline getirir. SEMICOREX, en kritik kritik yarı iletken süreçlerinizi desteklemek için güvenilirlik ve yenilikçi yüksek performans sağlar.