Semicorex 1x2" grafit levha süseptörleri, yarı iletken levhaların epitaksiyel işlemi için çok uygun olan, 2 inçlik levhalar için özel olarak tasarlanmış yüksek performanslı taşıma bileşenleridir. Endüstri lideri malzeme saflığı, hassas mühendislik ve zorlu epitaksiyel büyüme ortamlarında eşsiz güvenilirlik için Semicorex'i seçin.
Yarı iletken levha imalatında, yarı iletken cihazların müteakip imalatı için epitaksiyel katmanın levha substratı üzerinde büyütülmesi gerekir. Epitaksiyel büyüme süreci sıcaklık dalgalanmalarına ve kirlenmeye karşı oldukça hassas olduğundan, güvenilirgofret sensörlerikritik derecede önemlidir. Plaka epitaksiyel prosesinde vazgeçilmez destekleyici parçalar olarak işleme hassasiyeti, termal yönetim kapasitesi ve kirlenme direnci performansı, yüksek kaliteli plaka epitaksiyel büyümesinin elde edilmesinde çok önemli faktörlerdir.
Özel işlemlerle yoğun silisyum karbür kaplamalı matris olarak ultra ince taneli, yüksek saflıkta grafitten üretilen Semicorex 1x2" grafit levha tutucular aşağıdaki işlevleri sağlar:
Semicorex 1x2"grafitGofret tutucular, olağanüstü yüzey düzlüğü ve boyutsal doğruluk sağlayan hassas işleme ve işleme özelliğine sahiptir. Bu, uygun bir pozisyonda sıkıca sabitlenmelerini sağlar ve levha epitaksiyel büyümesi için sağlam, düz bir destek platformu sağlar.
Grafit ve SiC malzemelerinin mükemmel termal iletkenliği ile Semicorex 1x2" grafit levha tutucular, yarı iletken madde boyunca hızlı ve eşit ısı dağılımı sağlar. Semicorex 1x2" grafit levha tutucular, sıcaklık gradyanlarını en aza indirerek, düzensiz epitaksiyel kalite ve stres konsantrasyonu gibi sorunları etkili bir şekilde önleyebilir.
Yoğun silisyum karbür kaplama ile kaplanmış olan Semicorex 1x2" grafit levha tutucular, çoğu kimyasal maddeye karşı etkili bir şekilde dirençli olup, bunları malzemenin sıklıkla aşındırıcı gazlara ve kimyasal buharlara maruz kaldığı yüksek derecede aşındırıcı çalışma koşullarındaki uygulamalar için uygun hale getirir.
Semicorexsilisyum karbür kaplamaGrafit matris ile yüksek bir bağlanma kuvvetine sahiptir; bu, korozyon nedeniyle kaplamanın ayrılması ve yüksek korozyonlu ortamların neden olduğu parçacık serpintisi nedeniyle alt tabakanın kirlenmesi riskini önemli ölçüde önleyebilir.
Grafit matrisler mükemmel termal stabilite ve mekanik mukavemet sergilemesine rağmen, epitaksiyel prosesin çalışma koşulları altında korozyona ve tozlaşmaya eğilimlidir ve kaplanmamış grafit matrislerin ömrünü büyük ölçüde kısaltır. Grafit matrislerini yoğun SiC kaplamalarla tamamen kapsülleyen 1×2" grafit levha tutucularımız üstün ve güvenilir dayanıklılık elde eder.
Semicorex SiC Kaplamanın malzeme verileri
|
Tipik özellikler |
Birimler |
Değerler |
| Yapı |
/ |
FCC β fazı |
| Oryantasyon | Kesir (%) |
111 tercih edildi |
| Yığın yoğunluğu |
g/cm³ |
3.21 |
| Sertlik | Vickers sertliği |
2500 |
| Isı Kapasitesi | J·kg⁻¹·K⁻¹ |
640 |
| Termal genleşme 100–600 °C (212–1112 °F) |
10⁻⁶K⁻¹ |
4.5 |
| Young Modülü |
Gpa (4pt viraj, 1300°C) |
430 |
| Tane Boyutu |
µm |
2 – 10 |
| Süblimleşme Sıcaklığı |
°C |
2700 |
| Eğilme Dayanımı |
MPa (RT 4 nokta) |
415 |
| Isı iletkenliği |
(W/mK) |
300 |