SiC Kaplı MOCVD Duyarlısı

Semicorex, SiC Kaplamalı MOCVD Susceptor'un lider üreticisi ve tedarikçisidir. Ürünümüz, yarı iletken endüstrileri için gofret yongası üzerindeki epitaksiyel katmanı büyütmek için özel olarak tasarlanmıştır. Yüksek saflıkta Silisyum Karbür kaplı grafit taşıyıcı, dişli veya halka şeklinde bir tasarıma sahip MOCVD'de merkez plaka olarak kullanılır. Duyarlımız, MOCVD ekipmanında yaygın olarak kullanılır ve aşırı ortamlarda yüksek ısı ve korozyon direnci ve mükemmel stabilite sağlar.

Talep Gönder

Ürün Açıklaması

SiC Coated MOCVD Susceptor ürünümüzün en önemli özelliklerinden biri de soyulmayı önleyerek tüm yüzeyde kaplama sağlamasıdır. Ürün, 1600°C'ye kadar yüksek sıcaklıklarda kararlı olan yüksek sıcaklık oksidasyon direncine sahiptir. Yüksek saflık, yüksek sıcaklıkta klorlama koşulları altında CVD kimyasal buhar biriktirme kullanılarak elde edilir. Ürün, asit, alkali, tuz ve organik reaktiflerden kaynaklanan korozyona karşı oldukça dayanıklı hale getiren ince parçacıklarla yoğun bir yüzeye sahiptir.
SiC Kaplamalı MOCVD Susceptor'umuz, termal profilin düzgünlüğünü garanti eden en iyi laminer gaz akış modelini sağlar. Bu, gofret çipinde yüksek kaliteli epitaksiyel büyüme sağlayarak herhangi bir kontaminasyonu veya safsızlık difüzyonunu önlemeye yardımcı olur. Semicorex, rekabetçi bir fiyat avantajı sunar ve birçok Avrupa ve Amerika pazarını kapsar. Ekibimiz mükemmel müşteri hizmeti ve desteği sağlamaya kendini adamıştır. İşinizin büyümesine yardımcı olmak için yüksek kaliteli ve güvenilir ürünler sunarak uzun vadeli ortağınız olmaya kararlıyız.

SiC Kaplı MOCVD Susceptor Parametreleri

CVD-SIC Kaplamanın Ana Özellikleri
SiC-CVD Özellikleri
Kristal yapı	FCC Î² fazı
Yoğunluk	g/cm³	3.21
Sertlik	Vickers sertliği	2500
Tane büyüklüğü	ım¼m	2~10
Kimyasal Saflık	%	99.99995
Isı kapasitesi	J·kg-1 ·K-1	640
Süblimleşme Sıcaklığı	℃	2700
Feleksural Mukavemet	MPa (RT 4 noktalı)	415
Youngâ s Modülü	Gpa (4pt viraj, 1300â)	430
Termal Genleşme (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Termal iletkenlik	(W/mK)	300

SiC Kaplı MOCVD Duyarlısının Özellikleri

- Soyulmayı önleyin ve tüm yüzeyin kaplanmasını sağlayın
Yüksek sıcaklık oksidasyon direnci: 1600°C'ye kadar yüksek sıcaklıklarda kararlı
Yüksek saflık: yüksek sıcaklıkta klorlama koşulları altında CVD kimyasal buhar biriktirme ile yapılır.
Korozyon direnci: yüksek sertlik, yoğun yüzey ve ince parçacıklar.
Korozyon direnci: asit, alkali, tuz ve organik reaktifler.
- En iyi laminer gaz akış modelini elde edin
- Termal profilin düzgünlüğünü garanti eder
- Herhangi bir kontaminasyonu veya safsızlık difüzyonunu önleyin