MOCVD için SiC Süseptör

Semicorex, MOCVD için SiC Süseptörünün lider üreticisi ve tedarikçisidir. Ürünümüz, yarı iletken endüstrisinin gofret çipi üzerindeki epitaksiyel katmanın büyütülmesindeki ihtiyaçlarını karşılamak üzere özel olarak tasarlanmıştır. Ürün, MOCVD'de dişli veya halka şeklinde tasarıma sahip merkez plaka olarak kullanılmaktadır. Yüksek ısıya ve korozyon direncine sahip olduğundan zorlu ortamlarda kullanım için idealdir.

Talep Gönder

Ürün Açıklaması

MOCVD için SiC Süseptörümüz birçok temel özelliğe sahip, en kaliteli bir üründür. Tüm yüzeyde kaplama sağlayarak soyulmayı önler ve yüksek sıcaklıktaki oksidasyon direncine sahip olup 1600°C'ye kadar yüksek sıcaklıklarda bile stabilite sağlar. Ürün, yüksek sıcaklıktaki klorlama koşulları altında CVD kimyasal buhar biriktirme yoluyla yüksek saflıkta yapılır. İnce parçacıklardan oluşan yoğun bir yüzeye sahip olduğundan asit, alkali, tuz ve organik reaktiflerden kaynaklanan korozyona karşı oldukça dirençlidir.
MOCVD için SiC Tutucumuz, termal profilin düzgünlüğünü sağlayarak en iyi laminer gaz akış modelini garanti edecek şekilde tasarlanmıştır. Her türlü kirlenmeyi veya yabancı maddelerin yayılmasını önleyerek levha çipinde yüksek kaliteli epitaksiyel büyüme sağlar.

MOCVD için SiC Süseptörünün Parametreleri

CVD-SIC Kaplamanın Ana Özellikleri
SiC-CVD Özellikleri
Kristal Yapısı	FCC β fazı
Yoğunluk	g/cm³	3.21
Sertlik	Vickers sertliği	2500
Tane Boyutu	μm	2~10
Kimyasal Saflık	%	99.99995
Isı Kapasitesi	J kg-1 K-1	640
Süblimleşme Sıcaklığı	℃	2700
Feleksural Dayanım	MPa (RT 4 nokta)	415
Young Modülü	Gpa (4pt viraj, 1300°C)	430
Termal Genleşme (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Isı iletkenliği	(W/mK)	300

MOCVD için SiC Süseptörünün Özellikleri

- Soyulmaktan kaçının ve tüm yüzeyin kaplanmasını sağlayın
Yüksek sıcaklıkta oksidasyon direnci: 1600°C'ye kadar yüksek sıcaklıklarda stabildir
Yüksek saflık: Yüksek sıcaklıktaki klorlama koşulları altında CVD kimyasal buhar biriktirme yoluyla yapılır.
Korozyon direnci: yüksek sertlik, yoğun yüzey ve ince parçacıklar.
Korozyon direnci: asit, alkali, tuz ve organik reaktifler.
- En iyi laminer gaz akış modelini elde edin
- Termal profilin düzgünlüğünü garanti edin
- Herhangi bir kirlenmeyi veya yabancı maddelerin yayılmasını önleyin