Epitaksiyel Büyüme için MOCVD Duyarlısı

Semicorex, Epitaksiyel Büyüme için MOCVD Susceptor'ın lider tedarikçisi ve üreticisidir. Ürünümüz, yarı iletken endüstrilerinde, özellikle gofret yongası üzerindeki epitaksiyel tabakanın büyümesinde yaygın olarak kullanılmaktadır. Duyarlımız, dişli veya halka şeklinde bir tasarımla MOCVD'de merkez plaka olarak kullanılmak üzere tasarlanmıştır. Ürün, aşırı ortamlarda kararlı olmasını sağlayan yüksek ısı ve korozyon direncine sahiptir.

Talep Gönder

Ürün Açıklaması

MOCVD Susceptor for Epitaksial Growth ürünümüzün avantajlarından biri, soyulmayı önleyerek tüm yüzeyde kaplama sağlama yeteneğidir. Ürün, 1600°C'ye kadar yüksek sıcaklıklarda stabilite sağlayan yüksek sıcaklık oksidasyon direncine sahiptir. Ürünümüzün yüksek saflığı, yüksek sıcaklıkta klorlama koşulları altında CVD kimyasal buhar biriktirme yoluyla elde edilir. İnce parçacıklara sahip yoğun yüzey, ürünün asit, alkali, tuz ve organik reaktiflerden kaynaklanan korozyona karşı oldukça dayanıklı olmasını sağlar.
Epitaksiyel Büyüme için MOCVD Duyarlımız, termal profilin düzgünlüğünü sağlayarak en iyi laminer gaz akış modelini elde etmek için tasarlanmıştır. Bu, gofret çipinde yüksek kaliteli epitaksiyel büyüme sağlayarak herhangi bir kontaminasyonu veya safsızlık difüzyonunu önlemeye yardımcı olur.
Epitaksiyel Büyüme için MOCVD Duyarlımız hakkında daha fazla bilgi edinmek için bugün bize ulaşın.

Epitaksiyel Büyüme için MOCVD Susceptor Parametreleri

CVD-SIC Kaplamanın Ana Özellikleri
SiC-CVD Özellikleri
Kristal yapı	FCC Î² fazı
Yoğunluk	g/cm³	3.21
Sertlik	Vickers sertliği	2500
Tane büyüklüğü	ım¼m	2~10
Kimyasal Saflık	%	99.99995
Isı kapasitesi	J·kg-1 ·K-1	640
Süblimleşme Sıcaklığı	℃	2700
Feleksural Mukavemet	MPa (RT 4 noktalı)	415
Youngâ s Modülü	Gpa (4pt viraj, 1300â)	430
Termal Genleşme (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Termal iletkenlik	(W/mK)	300

Epitaksiyel Büyüme için MOCVD Duyarlısının Özellikleri

- Soyulmayı önleyin ve tüm yüzeyin kaplanmasını sağlayın
Yüksek sıcaklık oksidasyon direnci: 1600°C'ye kadar yüksek sıcaklıklarda kararlı
Yüksek saflık: yüksek sıcaklıkta klorlama koşulları altında CVD kimyasal buhar biriktirme ile yapılır.
Korozyon direnci: yüksek sertlik, yoğun yüzey ve ince parçacıklar.
Korozyon direnci: asit, alkali, tuz ve organik reaktifler.
- En iyi laminer gaz akış modelini elde edin
- Termal profilin düzgünlüğünü garanti eder
- Herhangi bir kontaminasyonu veya safsızlık difüzyonunu önleyin