MOCVD için SiC Kaplı Grafit Duyarlı

Semicorex, Çin'de Silisyum Karbür Kaplı Grafit Susceptor'un büyük ölçekli üreticisi ve tedarikçisidir. Silisyum karbür katmanlar ve epitaksi yarı iletken gibi yarı iletken endüstrilerine odaklanıyoruz. MOCVD için SiC Kaplı Grafit Susceptörümüz iyi bir fiyat avantajına sahiptir ve Avrupa ve Amerika pazarlarının çoğunu kapsamaktadır. Uzun vadeli ortağınız olmayı dört gözle bekliyoruz.

Talep Gönder

Ürün Açıklaması

MOCVD için Semicorex SiC Kaplı Grafit Susceptor, gofret yongası üzerindeki epiksiyal tabakayı büyütme sürecinde kullanılan, yüksek saflıkta bir Silisyum Karbür kaplı grafit taşıyıcıdır. MOCVD'deki merkez plakadır, dişli veya halka şeklindedir. MOCVD için SiC Kaplı Grafit Susceptor, aşırı ortamlarda büyük stabiliteye sahip olan yüksek ısı ve korozyon direncine sahiptir.
Semicorex'te kendimizi müşterilerimize yüksek kaliteli ürünler ve hizmetler sunmaya adadık. Yalnızca en iyi malzemeleri kullanıyoruz ve ürünlerimiz en yüksek kalite ve performans standartlarını karşılayacak şekilde tasarlanıyor. MOCVD için SiC Kaplı Grafit Suseptörümüz bir istisna değildir. Yarı iletken gofret işleme ihtiyaçlarınız konusunda size nasıl yardımcı olabileceğimiz hakkında daha fazla bilgi edinmek için bugün bize ulaşın.

MOCVD için SiC Kaplı Grafit Susceptor Parametreleri

CVD-SIC Kaplamanın Ana Özellikleri
SiC-CVD Özellikleri
Kristal yapı	FCC Î² fazı
Yoğunluk	g/cm³	3.21
Sertlik	Vickers sertliği	2500
Tane büyüklüğü	ım¼m	2~10
Kimyasal Saflık	%	99.99995
Isı kapasitesi	J·kg-1 ·K-1	640
Süblimleşme Sıcaklığı	℃	2700
Feleksural Mukavemet	MPa (RT 4 noktalı)	415
Youngâ s Modülü	Gpa (4pt viraj, 1300â)	430
Termal Genleşme (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Termal iletkenlik	(W/mK)	300

MOCVD için SiC Kaplı Grafit Susceptor Özellikleri

- Soyulmayı önleyin ve tüm yüzeyin kaplanmasını sağlayın
Yüksek sıcaklık oksidasyon direnci: 1600°C'ye kadar yüksek sıcaklıklarda kararlı
Yüksek saflık: yüksek sıcaklıkta klorlama koşulları altında CVD kimyasal buhar biriktirme ile yapılır.
Korozyon direnci: yüksek sertlik, yoğun yüzey ve ince parçacıklar.
Korozyon direnci: asit, alkali, tuz ve organik reaktifler.
- En iyi laminer gaz akış modelini elde edin
- Termal profilin düzgünlüğünü garanti eder
- Herhangi bir kontaminasyonu veya safsızlık difüzyonunu önleyin