MOCVD için SiC Kaplamalı Grafit Süseptör

Semicorex, Çin'deki Silisyum Karbür Kaplamalı Grafit Süseptörlerin büyük ölçekli üreticisi ve tedarikçisidir. Silisyum karbür katmanlar ve epitaksi yarı iletken gibi yarı iletken endüstrilerine odaklanıyoruz. MOCVD için SiC Kaplamalı Grafit Askımız iyi bir fiyat avantajına sahiptir ve Avrupa ve Amerika pazarlarının çoğunu kapsamaktadır. Uzun vadeli ortağınız olmayı sabırsızlıkla bekliyoruz.

Talep Gönder

Ürün Açıklaması

MOCVD için Semicorex SiC Kaplamalı Grafit Süseptör, yonga levha üzerindeki epiksiyal katmanı büyütme işleminde kullanılan yüksek saflıkta Silisyum Karbür kaplı grafit taşıyıcıdır. MOCVD'de dişli veya halka şeklindeki merkez plakadır. MOCVD için SiC Kaplamalı Grafit Süseptör, zorlu ortamlarda mükemmel stabiliteye sahip olan yüksek ısı ve korozyon direncine sahiptir.
Semicorex olarak müşterilerimize yüksek kaliteli ürünler ve hizmetler sunmaya kendimizi adadık. Yalnızca en iyi malzemeleri kullanıyoruz ve ürünlerimiz en yüksek kalite ve performans standartlarını karşılayacak şekilde tasarlanıyor. MOCVD'ye yönelik SiC Kaplamalı Grafit Süseptörümüz bir istisna değildir. Yarı iletken levha işleme ihtiyaçlarınızda size nasıl yardımcı olabileceğimiz hakkında daha fazla bilgi edinmek için bugün bizimle iletişime geçin.

MOCVD için SiC Kaplı Grafit Süseptör Parametreleri

CVD-SIC Kaplamanın Ana Özellikleri
SiC-CVD Özellikleri
Kristal Yapısı	FCC β fazı
Yoğunluk	g/cm³	3.21
Sertlik	Vickers sertliği	2500
Tane Boyutu	μm	2~10
Kimyasal Saflık	%	99.99995
Isı Kapasitesi	J kg-1 K-1	640
Süblimleşme Sıcaklığı	℃	2700
Feleksural Dayanım	MPa (RT 4 nokta)	415
Young Modülü	Gpa (4pt viraj, 1300°C)	430
Termal Genleşme (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Isı iletkenliği	(W/mK)	300

MOCVD için SiC Kaplamalı Grafit Süseptör Özellikleri

- Soyulmaktan kaçının ve tüm yüzeyin kaplanmasını sağlayın
Yüksek sıcaklıkta oksidasyon direnci: 1600°C'ye kadar yüksek sıcaklıklarda stabildir
Yüksek saflık: Yüksek sıcaklıktaki klorlama koşulları altında CVD kimyasal buhar biriktirme yoluyla yapılır.
Korozyon direnci: yüksek sertlik, yoğun yüzey ve ince parçacıklar.
Korozyon direnci: asit, alkali, tuz ve organik reaktifler.
- En iyi laminer gaz akış modelini elde edin
- Termal profilin düzgünlüğünü garanti edin
- Herhangi bir kirlenmeyi veya yabancı maddelerin yayılmasını önleyin