Olağanüstü termal iletkenlik ve ısı dağıtım özellikleriyle Yarı İletken Epitaksiyel Reaktör için Semicorex Namlu Yapısı, LPE süreçlerinde ve diğer yarı iletken üretim uygulamalarında kullanım için mükemmel seçimdir. Yüksek saflıkta SiC kaplaması, yüksek sıcaklık ve aşındırıcı ortamlarda üstün koruma sağlar.
Yarı İletken Epitaksiyel Reaktör için Semicorex Namlu Yapısı, olağanüstü ısı ve korozyon direnci gerektiren yüksek performanslı grafit tutucu uygulamaları için tercih edilen seçimdir. Yüksek saflıkta SiC kaplaması ve üstün yoğunluğu ve termal iletkenliği, üstün koruma ve ısı dağıtım özellikleri sağlayarak en zorlu ortamlarda bile güvenilir ve tutarlı performans sağlar.
Yarı İletken Epitaksiyel Reaktör için Namlu Yapımız, termal profilin düzgünlüğünü sağlayarak en iyi laminer gaz akış modelini elde edecek şekilde tasarlanmıştır. Bu, levha çipinde yüksek kaliteli epitaksiyel büyüme sağlayarak herhangi bir kirlenmenin veya yabancı maddelerin yayılmasının önlenmesine yardımcı olur.
Yarı İletken Epitaksiyel Reaktör için Namlu Yapımız hakkında daha fazla bilgi edinmek için bugün bizimle iletişime geçin.
Yarı İletken Epitaksiyel Reaktör için Namlu Yapısının Parametreleri
CVD-SIC Kaplamanın Ana Özellikleri |
||
SiC-CVD Özellikleri |
||
Kristal Yapısı |
FCC β fazı |
|
Yoğunluk |
g/cm³ |
3.21 |
Sertlik |
Vickers sertliği |
2500 |
Tane Boyutu |
μm |
2~10 |
Kimyasal Saflık |
% |
99.99995 |
Isı Kapasitesi |
J kg-1 K-1 |
640 |
Süblimleşme Sıcaklığı |
℃ |
2700 |
Feleksural Dayanım |
MPa (RT 4 nokta) |
415 |
Young Modülü |
Gpa (4pt viraj, 1300°C) |
430 |
Termal Genleşme (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Isı iletkenliği |
(W/mK) |
300 |
Yarı İletken Epitaksiyel Reaktör için Namlu Yapısının Özellikleri
- Hem grafit alt tabaka hem de silisyum karbür tabakası iyi bir yoğunluğa sahiptir ve yüksek sıcaklık ve aşındırıcı çalışma ortamlarında iyi bir koruyucu rol oynayabilir.
- Tek kristal büyütme için kullanılan silisyum karbür kaplı suseptör çok yüksek yüzey düzlüğüne sahiptir.
- Grafit substrat ile silisyum karbür katman arasındaki termal genleşme katsayısı farkını azaltın, çatlama ve delaminasyonu önlemek için bağlanma gücünü etkili bir şekilde artırın.
- Hem grafit alt katman hem de silisyum karbür katman, yüksek termal iletkenliğe ve mükemmel ısı dağıtım özelliklerine sahiptir.
- Yüksek erime noktası, yüksek sıcaklıkta oksidasyon direnci, korozyon direnci.