Olağanüstü termal iletkenlik ve ısı dağıtım özellikleri ile Semicorex Yarı İletken Epitaksiyel Reaktör için Varil Yapısı, LPE işlemlerinde ve diğer yarı iletken üretim uygulamalarında kullanım için mükemmel bir seçimdir. Yüksek saflıkta SiC kaplaması, yüksek sıcaklık ve korozif ortamlarda üstün koruma sağlar.
Yarı İletken Epitaksiyel Reaktör için Semicorex Varil Yapısı, olağanüstü ısı ve korozyon direnci gerektiren yüksek performanslı grafit duyarlı uygulamalar için tercih edilen seçimdir. Yüksek saflıkta SiC kaplaması ve üstün yoğunluğu ve termal iletkenliği, en zorlu ortamlarda bile güvenilir ve tutarlı performans sağlayarak üstün koruma ve ısı dağıtım özellikleri sağlar.
Yarı İletken Epitaksiyel Reaktör için Namlu Yapımız, termal profilin düzgünlüğünü sağlayarak en iyi laminer gaz akış modelini elde etmek için tasarlanmıştır. Bu, gofret çipinde yüksek kaliteli epitaksiyel büyüme sağlayarak herhangi bir kontaminasyonu veya safsızlık difüzyonunu önlemeye yardımcı olur.
Yarı İletken Epitaksiyel Reaktör için Varil Yapımız hakkında daha fazla bilgi edinmek için bugün bize ulaşın.
Yarı İletken Epitaksiyel Reaktör için Namlu Yapısının Parametreleri
CVD-SIC Kaplamanın Ana Özellikleri |
||
SiC-CVD Özellikleri |
||
Kristal yapı |
FCC β fazı |
|
Yoğunluk |
g/cm³ |
3.21 |
Sertlik |
Vickers sertliği |
2500 |
Tane büyüklüğü |
ım¼m |
2~10 |
Kimyasal Saflık |
% |
99.99995 |
Isı kapasitesi |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Süblimleşme Sıcaklığı |
℃ |
2700 |
Feleksural Mukavemet |
MPa (RT 4 noktalı) |
415 |
Youngâ s Modülü |
Gpa (4pt viraj, 1300â) |
430 |
Termal Genleşme (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Termal iletkenlik |
(W/mK) |
300 |
Yarı İletken Epitaksiyel Reaktör için Namlu Yapısının Özellikleri
- Hem grafit alt tabaka hem de silisyum karbür tabaka iyi bir yoğunluğa sahiptir ve yüksek sıcaklıkta ve aşındırıcı çalışma ortamlarında iyi bir koruyucu rol oynayabilir.
- Tek kristal büyütme için kullanılan silisyum karbür kaplı suseptör çok yüksek yüzey düzgünlüğüne sahiptir.
- Grafit alt tabaka ile silisyum karbür katman arasındaki termal genleşme katsayısındaki farkı azaltın, çatlamayı ve delaminasyonu önlemek için bağlanma gücünü etkin bir şekilde artırın.
- Hem grafit substrat hem de silisyum karbür tabakası, yüksek bir termal iletkenliğe ve mükemmel ısı dağıtım özelliklerine sahiptir.
- Yüksek erime noktası, yüksek sıcaklık oksidasyon direnci, korozyon direnci.