Semicorex Karbür Kaplamalı Reaktör Namlusu Süseptörü, özellikle LPE işlemleri için tasarlanmış, yüksek saflıkta SiC ile kaplanmış üstün kaliteli bir grafit ürünüdür. Mükemmel ısı ve korozyon direncine sahip bu ürün, yarı iletken üretim uygulamalarında kullanım için mükemmeldir.
Yarı iletken plakalar üzerinde epitaksiyel katman oluşumu için yüksek performanslı bir grafit tutucu arıyorsanız, Semicorex Karbür Kaplamalı Reaktör Namlu Tutucu mükemmel bir seçimdir. Silisyum karbür kaplaması üstün ısı dağılımı ve termal iletkenlik sağlayarak en zorlu yüksek sıcaklıktaki ortamlarda bile olağanüstü performans sağlar.
Semicorex olarak yüksek kaliteli, uygun maliyetli karbür kaplı reaktör varil tutucusu sağlamaya odaklanıyor, müşteri memnuniyetini ön planda tutuyor ve uygun maliyetli çözümler sunuyoruz. Yüksek kaliteli ürünler ve olağanüstü müşteri hizmetleri sunarak uzun vadeli ortağınız olmayı sabırsızlıkla bekliyoruz.
Karbür Kaplı Reaktör Namlu Süseptörünün Parametreleri
CVD-SIC Kaplamanın Ana Özellikleri |
||
SiC-CVD Özellikleri |
||
Kristal Yapısı |
FCC β fazı |
|
Yoğunluk |
g/cm³ |
3.21 |
Sertlik |
Vickers sertliği |
2500 |
Tane Boyutu |
μm |
2~10 |
Kimyasal Saflık |
% |
99.99995 |
Isı Kapasitesi |
J kg-1 K-1 |
640 |
Süblimleşme Sıcaklığı |
℃ |
2700 |
Feleksural Dayanım |
MPa (RT 4 nokta) |
415 |
Young Modülü |
Gpa (4pt viraj, 1300°C) |
430 |
Termal Genleşme (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Isı iletkenliği |
(W/mK) |
300 |
Karbür Kaplı Reaktör Namlu Süseptörünün Özellikleri
- Hem grafit alt tabaka hem de silisyum karbür tabakası iyi bir yoğunluğa sahiptir ve yüksek sıcaklık ve aşındırıcı çalışma ortamlarında iyi bir koruyucu rol oynayabilir.
- Tek kristal büyütme için kullanılan silisyum karbür kaplı suseptör çok yüksek yüzey düzlüğüne sahiptir.
- Grafit substrat ile silisyum karbür katman arasındaki termal genleşme katsayısı farkını azaltın, çatlama ve delaminasyonu önlemek için bağlanma gücünü etkili bir şekilde artırın.
- Hem grafit alt katman hem de silisyum karbür katman, yüksek termal iletkenliğe ve mükemmel ısı dağıtım özelliklerine sahiptir.
- Yüksek erime noktası, yüksek sıcaklıkta oksidasyon direnci, korozyon direnci.