Karbür Kaplı Reaktör Varil Susceptor

Semicorex Karbür Kaplı Reaktör Varil Susceptörü, LPE prosesleri için özel olarak tasarlanmış, yüksek saflıkta SiC ile kaplanmış üstün kaliteli bir grafit üründür. Mükemmel ısı ve korozyon direnci ile bu ürün, yarı iletken üretim uygulamalarında kullanım için mükemmeldir.

Talep Gönder

Ürün Açıklaması

Yarı iletken levhalarda epitaksiyel katman oluşumu için yüksek performanslı bir grafit tutucu arıyorsanız, Semicorex Karbür Kaplı Reaktör Namlusu Tutucu mükemmel bir seçimdir. Silisyum karbür kaplaması, üstün ısı dağılımı ve termal iletkenlik sağlayarak en zorlu yüksek sıcaklık ortamlarında bile olağanüstü performans sağlar.

Semicorex olarak, yüksek kaliteli, uygun maliyetli karbür kaplı reaktör varil suseptör sağlamaya odaklanıyor, müşteri memnuniyetini ön planda tutuyor ve uygun maliyetli çözümler sunuyoruz. Yüksek kaliteli ürünler ve olağanüstü müşteri hizmetleri sunarak uzun vadeli ortağınız olmayı dört gözle bekliyoruz.

Karbür Kaplı Reaktör Varil Susceptor Parametreleri

CVD-SIC Kaplamanın Ana Özellikleri
SiC-CVD Özellikleri
Kristal yapı	FCC Î² fazı
Yoğunluk	g/cm³	3.21
Sertlik	Vickers sertliği	2500
Tane büyüklüğü	ım¼m	2~10
Kimyasal Saflık	%	99.99995
Isı kapasitesi	J·kg-1 ·K-1	640
Süblimleşme Sıcaklığı	℃	2700
Feleksural Mukavemet	MPa (RT 4 noktalı)	415
Youngâ s Modülü	Gpa (4pt viraj, 1300â)	430
Termal Genleşme (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Termal iletkenlik	(W/mK)	300

Karbür Kaplı Reaktör Varil Susceptor Özellikleri

- Hem grafit alt tabaka hem de silisyum karbür tabaka iyi bir yoğunluğa sahiptir ve yüksek sıcaklıkta ve aşındırıcı çalışma ortamlarında iyi bir koruyucu rol oynayabilir.

- Tek kristal büyümesi için kullanılan silisyum karbür kaplı suseptör çok yüksek yüzey düzgünlüğüne sahiptir.

- Grafit alt tabaka ile silisyum karbür katman arasındaki termal genleşme katsayısındaki farkı azaltın, çatlamayı ve delaminasyonu önlemek için bağlanma gücünü etkin bir şekilde artırın.

- Hem grafit substrat hem de silisyum karbür tabakası, yüksek bir termal iletkenliğe ve mükemmel ısı dağıtım özelliklerine sahiptir.

- Yüksek erime noktası, yüksek sıcaklık oksidasyon direnci, korozyon direnci.