LPE Reaktör Odası için SiC Kaplı Susceptor Barrel

Semicorex'in LPE Reaktör Odası için SiC Kaplı Susceptor Barrel'i, en yüksek hassasiyet ve dayanıklılık standartlarına göre üretilmiş birinci sınıf kaliteli bir üründür. Mükemmel termal iletkenlik, korozyon direnci sunar ve yarı iletken üretimindeki LPE uygulamalarına son derece uygundur.

LPE Reaktör Odası için SiC Kaplı Susceptor Barrel'imiz, termal profilin düzgünlüğünü sağlayarak en iyi laminer gaz akış modelini elde etmek için tasarlanmıştır. Bu, gofret çipinde yüksek kaliteli epitaksiyel büyüme sağlayarak herhangi bir kontaminasyonu veya safsızlık difüzyonunu önlemeye yardımcı olur.

LPE Reaktör Odası için SiC Kaplı Susceptor Barrel hakkında daha fazla bilgi edinmek için bugün bize ulaşın.

LPE Reaktör Odası için SiC Kaplı Susceptor Barrel Parametreleri

LPE Reaktör Odası için SiC Kaplı Susceptor Barrel'in Özellikleri

- Hem grafit alt tabaka hem de silisyum karbür tabaka iyi bir yoğunluğa sahiptir ve yüksek sıcaklıkta ve aşındırıcı çalışma ortamlarında iyi bir koruyucu rol oynayabilir.

- Tek kristal büyümesi için kullanılan silisyum karbür kaplı suseptör çok yüksek yüzey düzgünlüğüne sahiptir.

- Grafit alt tabaka ile silisyum karbür katman arasındaki termal genleşme katsayısındaki farkı azaltın, çatlamayı ve delaminasyonu önlemek için bağlanma gücünü etkin bir şekilde artırın.

- Hem grafit substrat hem de silisyum karbür tabakası, yüksek bir termal iletkenliğe ve mükemmel ısı dağıtım özelliklerine sahiptir.

- Yüksek erime noktası, yüksek sıcaklık oksidasyon direnci, korozyon direnci.