Semicorex SiC Kaplamalı Epitaksiyel Reaktör Namlusu, yüksek saflıkta SiC ile kaplanmış, birinci sınıf bir grafit üründür. Mükemmel yoğunluğu ve termal iletkenliği, LPE proseslerinde kullanım için ideal bir seçim olmasını sağlar ve aşındırıcı ve yüksek sıcaklıktaki ortamlarda olağanüstü ısı dağıtımı ve koruma sağlar.
Yarı iletken üretimi söz konusu olduğunda Semicorex SiC Kaplamalı Epitaksiyel Reaktör Varil, üstün performans ve olağanüstü ısı dağıtımı için ilk tercihtir. Yüksek saflıkta SiC ile kaplanmış bu grafit ürün, olağanüstü korozyon ve ısı direnci sağlayarak her zaman güvenilir ve tutarlı sonuçlar sağlar.
Semicorex olarak müşterilerimize yüksek kaliteli, uygun maliyetli ürünler sunmaya odaklanıyoruz. SiC Kaplamalı Epitaksiyel Reaktör Varilimiz fiyat avantajına sahip olup, birçok Avrupa ve Amerika pazarına ihraç edilmektedir. Tutarlı kalitede ürünler ve olağanüstü müşteri hizmetleri sunarak uzun vadeli ortağınız olmayı hedefliyoruz.
SiC Kaplamalı Epitaksiyel Reaktör Namlusunun Parametreleri
CVD-SIC Kaplamanın Ana Özellikleri |
||
SiC-CVD Özellikleri |
||
Kristal Yapısı |
FCC β fazı |
|
Yoğunluk |
g/cm³ |
3.21 |
Sertlik |
Vickers sertliği |
2500 |
Tane Boyutu |
μm |
2~10 |
Kimyasal Saflık |
% |
99.99995 |
Isı Kapasitesi |
J kg-1 K-1 |
640 |
Süblimleşme Sıcaklığı |
℃ |
2700 |
Feleksural Dayanım |
MPa (RT 4 nokta) |
415 |
Young Modülü |
Gpa (4pt viraj, 1300°C) |
430 |
Termal Genleşme (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Isı iletkenliği |
(W/mK) |
300 |
SiC Kaplamalı Epitaksiyel Reaktör Namlusunun Özellikleri
- Hem grafit alt tabaka hem de silisyum karbür tabakası iyi bir yoğunluğa sahiptir ve yüksek sıcaklık ve aşındırıcı çalışma ortamlarında iyi bir koruyucu rol oynayabilir.
- Tek kristal büyütme için kullanılan silisyum karbür kaplı suseptör çok yüksek yüzey düzlüğüne sahiptir.
- Grafit substrat ile silisyum karbür katman arasındaki termal genleşme katsayısı farkını azaltın, çatlama ve delaminasyonu önlemek için bağlanma gücünü etkili bir şekilde artırın.
- Hem grafit alt katman hem de silisyum karbür katman, yüksek termal iletkenliğe ve mükemmel ısı dağıtım özelliklerine sahiptir.
- Yüksek erime noktası, yüksek sıcaklıkta oksidasyon direnci, korozyon direnci.