Semicorex SiC Kaplamalı Epitaksiyel Reaktör Kovanı, yüksek saflıkta SiC ile kaplanmış en kaliteli grafit ürünüdür. Mükemmel yoğunluğu ve termal iletkenliği, aşındırıcı ve yüksek sıcaklıktaki ortamlarda olağanüstü ısı dağılımı ve koruma sağlayarak LPE işlemlerinde kullanım için ideal bir seçim haline getirir.
Yarı iletken üretimi söz konusu olduğunda, üstün performans ve olağanüstü ısı dağılımı için Semicorex SiC Kaplamalı Epitaksiyel Reaktör Bareli ilk tercihtir. Yüksek saflıkta SiC ile kaplanan bu grafit ürün, olağanüstü korozyon ve ısı direnci sağlayarak her seferinde güvenilir ve tutarlı sonuçlar sağlar.
Semicorex'te müşterilerimize yüksek kaliteli, uygun maliyetli ürünler sunmaya odaklanıyoruz. SiC Kaplamalı Epitaksiyel Reaktör Namlumuz fiyat avantajına sahip olup birçok Avrupa ve Amerika pazarına ihraç edilmektedir. Tutarlı kaliteli ürünler ve olağanüstü müşteri hizmetleri sunarak uzun vadeli ortağınız olmayı hedefliyoruz.
SiC Kaplı Epitaksiyel Reaktör Namlusunun Parametreleri
CVD-SIC Kaplamanın Ana Özellikleri |
||
SiC-CVD Özellikleri |
||
Kristal yapı |
FCC β fazı |
|
Yoğunluk |
g/cm³ |
3.21 |
Sertlik |
Vickers sertliği |
2500 |
Tane büyüklüğü |
ım¼m |
2~10 |
Kimyasal Saflık |
% |
99.99995 |
Isı kapasitesi |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Süblimleşme Sıcaklığı |
℃ |
2700 |
Feleksural Mukavemet |
MPa (RT 4 noktalı) |
415 |
Youngâ s Modülü |
Gpa (4pt viraj, 1300â) |
430 |
Termal Genleşme (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Termal iletkenlik |
(W/mK) |
300 |
SiC Kaplı Epitaksiyel Reaktör Namlusunun Özellikleri
- Hem grafit alt tabaka hem de silisyum karbür tabaka iyi bir yoğunluğa sahiptir ve yüksek sıcaklıkta ve aşındırıcı çalışma ortamlarında iyi bir koruyucu rol oynayabilir.
- Tek kristal büyümesi için kullanılan silisyum karbür kaplı suseptör çok yüksek yüzey düzgünlüğüne sahiptir.
- Grafit alt tabaka ile silisyum karbür katman arasındaki termal genleşme katsayısındaki farkı azaltın, çatlamayı ve delaminasyonu önlemek için bağlanma gücünü etkin bir şekilde artırın.
- Hem grafit substrat hem de silisyum karbür tabaka, yüksek bir termal iletkenliğe ve mükemmel ısı dağıtım özelliklerine sahiptir.
- Yüksek erime noktası, yüksek sıcaklık oksidasyon direnci, korozyon direnci.