Semicorex Silisyum Karbür Kaplamalı Namlu Süseptör, olağanüstü ısı ve korozyon direnci sunan, yüksek saflıkta SiC ile kaplanmış yüksek kaliteli bir grafit üründür. Yarı iletken imalat endüstrisindeki LPE uygulamaları için özel olarak tasarlanmıştır.
BizimSilisyum Karbür Kaplamalı Namlu SüseptörSemicorex'ten yüksek sıcaklık ve aşındırıcı ortamlarda tek kristallerin yetiştirilmesi için ideal bir çözümdür.
Semicorex'te yüksek kaliteyi, uygun maliyetli sunmaya odaklanıyoruzsilisyum karbür kaplıvaril tutucu olarak müşteri memnuniyetini ön planda tutuyor ve uygun maliyetli çözümler sunuyoruz. Yüksek kaliteli ürünler ve olağanüstü müşteri hizmetleri sunarak uzun vadeli ortağınız olmayı sabırsızlıkla bekliyoruz.
ParametrelerSilisyum Karbür KaplamalıNamlu Alıcısı
Ana ÖzellikleriCVD-SIC Kaplama |
||
SiC-CVD Özellikleri |
||
Kristal yapı |
FCC β fazı |
|
Yoğunluk |
g/cm³ |
3.21 |
Sertlik |
Vickers sertliği |
2500 |
Tane büyüklüğü |
μm |
2~10 |
Kimyasal Saflık |
% |
99.99995 |
Isı kapasitesi |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Süblimleşme Sıcaklığı |
℃ |
2700 |
Feleksural Dayanım |
MPa (RT 4 nokta) |
415 |
Gencin modülü |
Gpa (4pt viraj, 1300°C) |
430 |
Termal Genleşme (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Termal iletkenlik |
(W/mK) |
300 |
ÖzellikleriSilisyum Karbür KaplamalıNamlu Alıcısı
- Hem grafit alt tabaka hem de silisyum karbür tabakası iyi bir yoğunluğa sahiptir ve yüksek sıcaklık ve aşındırıcı çalışma ortamlarında iyi bir koruyucu rol oynayabilir.
- Tek kristal büyütme için kullanılan silisyum karbür kaplı suseptör çok yüksek yüzey düzlüğüne sahiptir.
- Grafit substrat ile silisyum karbür katman arasındaki termal genleşme katsayısı farkını azaltın, çatlama ve delaminasyonu önlemek için bağlanma gücünü etkili bir şekilde artırın.
- Hem grafit alt katman hem de silisyum karbür katman, yüksek termal iletkenliğe ve mükemmel ısı dağıtım özelliklerine sahiptir.
- Yüksek erime noktası, yüksek sıcaklıkta oksidasyon direnci, korozyon direnci.