En zorlu yüksek sıcaklık ve aşındırıcı ortamlarda bile güvenilir ve tutarlı bir şekilde çalışabilen bir grafit duyarlıya ihtiyacınız varsa, Sıvı Fazlı Epitaksi için Semicorex Barrel Susceptor mükemmel bir seçimdir. Silisyum karbür kaplaması, mükemmel termal iletkenlik ve ısı dağılımı sağlayarak yarı iletken üretim uygulamalarında olağanüstü performans sağlar.
Sıvı Faz Epitaksi için Semicorex Barrel Susceptor, yüksek ısı ve korozyon direnci gerektiren yarı iletken üretim uygulamaları için ilk tercihtir. Yüksek saflıkta SiC kaplaması ve olağanüstü termal iletkenliği, en zorlu ortamlarda bile güvenilir ve tutarlı performans sağlayarak üstün koruma ve ısı dağıtım özellikleri sağlar.
Sıvı Fazlı Epitaksi için Namlu Duyarlılığımız, termal profilin düzgünlüğünü sağlayarak en iyi laminer gaz akış modelini elde etmek için tasarlanmıştır. Bu, gofret çipinde yüksek kaliteli epitaksiyel büyüme sağlayarak herhangi bir kontaminasyonu veya safsızlık difüzyonunu önlemeye yardımcı olur.
Sıvı Faz Epitaksi için Varil Duyarlımız hakkında daha fazla bilgi edinmek için bugün bize ulaşın.
Sıvı Faz Epitaksi için Namlu Duyarlısı Parametreleri
CVD-SIC Kaplamanın Ana Özellikleri |
||
SiC-CVD Özellikleri |
||
Kristal yapı |
FCC β fazı |
|
Yoğunluk |
g/cm³ |
3.21 |
Sertlik |
Vickers sertliği |
2500 |
Tane büyüklüğü |
ım¼m |
2~10 |
Kimyasal Saflık |
% |
99.99995 |
Isı kapasitesi |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Süblimleşme Sıcaklığı |
℃ |
2700 |
Feleksural Mukavemet |
MPa (RT 4 noktalı) |
415 |
Youngâ s Modülü |
Gpa (4pt viraj, 1300â) |
430 |
Termal Genleşme (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Termal iletkenlik |
(W/mK) |
300 |
Sıvı Faz Epitaksi için Namlu Duyarlısının Özellikleri
- Hem grafit alt tabaka hem de silisyum karbür tabaka iyi bir yoğunluğa sahiptir ve yüksek sıcaklıkta ve aşındırıcı çalışma ortamlarında iyi bir koruyucu rol oynayabilir.
- Tek kristal büyümesi için kullanılan silisyum karbür kaplı suseptör çok yüksek yüzey düzgünlüğüne sahiptir.
- Grafit alt tabaka ile silisyum karbür katman arasındaki termal genleşme katsayısındaki farkı azaltın, çatlamayı ve delaminasyonu önlemek için bağlanma gücünü etkin bir şekilde artırın.
- Hem grafit substrat hem de silisyum karbür tabaka, yüksek bir termal iletkenliğe ve mükemmel ısı dağıtım özelliklerine sahiptir.
- Yüksek erime noktası, yüksek sıcaklık oksidasyon direnci, korozyon direnci.