Sıvı Faz Epitaksi için Namlu Sensörü

En zorlu yüksek sıcaklık ve korozif ortamlarda bile güvenilir ve tutarlı bir şekilde performans gösterebilecek bir grafit tutucuya ihtiyacınız varsa, Sıvı Fazlı Epitaksi için Semicorex Namlu Tutucu mükemmel seçimdir. Silisyum karbür kaplaması mükemmel termal iletkenlik ve ısı dağılımı sağlayarak yarı iletken üretim uygulamalarında olağanüstü performans sağlar.

Talep Gönder

Ürün Açıklaması

Sıvı Fazlı Epitaksi için Semicorex Namlu Tutucusu, yüksek ısı ve korozyon direnci gerektiren yarı iletken üretim uygulamaları için tercih edilen seçimdir. Yüksek saflıkta SiC kaplaması ve olağanüstü ısı iletkenliği, üstün koruma ve ısı dağıtım özellikleri sağlayarak en zorlu ortamlarda bile güvenilir ve tutarlı performans sağlar.

Sıvı Fazlı Epitaksi için Namlu Tutucumuz, termal profilin düzgünlüğünü sağlayarak en iyi laminer gaz akış modelini elde etmek üzere tasarlanmıştır. Bu, levha çipinde yüksek kaliteli epitaksiyel büyüme sağlayarak herhangi bir kirlenmenin veya yabancı maddelerin yayılmasının önlenmesine yardımcı olur.

Sıvı Faz Epitaksi için Namlu Süseptörümüz hakkında daha fazla bilgi edinmek için bugün bizimle iletişime geçin.

Sıvı Faz Epitaksi için Namlu Süseptörünün Parametreleri

CVD-SIC Kaplamanın Ana Özellikleri
SiC-CVD Özellikleri
Kristal Yapısı	FCC β fazı
Yoğunluk	g/cm³	3.21
Sertlik	Vickers sertliği	2500
Tane Boyutu	μm	2~10
Kimyasal Saflık	%	99.99995
Isı Kapasitesi	J kg-1 K-1	640
Süblimleşme Sıcaklığı	℃	2700
Feleksural Dayanım	MPa (RT 4 nokta)	415
Young Modülü	Gpa (4pt viraj, 1300°C)	430
Termal Genleşme (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Isı iletkenliği	(W/mK)	300

Sıvı Faz Epitaksi için Namlu Süseptörünün Özellikleri

- Hem grafit alt tabaka hem de silisyum karbür tabakası iyi bir yoğunluğa sahiptir ve yüksek sıcaklık ve aşındırıcı çalışma ortamlarında iyi bir koruyucu rol oynayabilir.

- Tek kristal büyütme için kullanılan silisyum karbür kaplı suseptör çok yüksek yüzey düzlüğüne sahiptir.

- Grafit substrat ile silisyum karbür katman arasındaki termal genleşme katsayısı farkını azaltın, çatlama ve delaminasyonu önlemek için bağlanma gücünü etkili bir şekilde artırın.

- Hem grafit alt katman hem de silisyum karbür katman, yüksek termal iletkenliğe ve mükemmel ısı dağıtım özelliklerine sahiptir.

- Yüksek erime noktası, yüksek sıcaklıkta oksidasyon direnci, korozyon direnci.