Mükemmel yoğunluğu ve termal iletkenliği ile Semicorex Dayanıklı SiC Kaplamalı Namlu Askı, epitaksiyel işlemlerde ve diğer yarı iletken üretim uygulamalarında kullanım için ideal seçimdir. Yüksek saflıkta SiC kaplaması üstün koruma ve ısı dağıtım özellikleri sağlayarak güvenilir ve tutarlı sonuçlar için tercih edilen tercih haline gelir.
Üstün ısı ve korozyon direncine sahip, yüksek kaliteli bir grafit tutucuya ihtiyacınız varsa, Semicorex Dayanıklı SiC Kaplamalı Namlu Askısından başkasına bakmayın. Silisyum karbür kaplaması olağanüstü termal iletkenlik ve ısı dağılımı sağlayarak en zorlu yüksek sıcaklıktaki ortamlarda bile güvenilir ve tutarlı performans sağlar.
Dayanıklı SiC Kaplamalı Namlu Suseptörümüz, termal profilin düzgünlüğünü sağlayarak en iyi laminer gaz akış modelini elde edecek şekilde tasarlanmıştır. Bu, levha çipinde yüksek kaliteli epitaksiyel büyüme sağlayarak herhangi bir kirlenmenin veya yabancı maddelerin yayılmasının önlenmesine yardımcı olur.
Dayanıklı SiC Kaplamalı Namlu Süseptörümüz hakkında daha fazla bilgi edinmek için bugün bizimle iletişime geçin.
Dayanıklı SiC Kaplamalı Namlu Süseptörünün Parametreleri
CVD-SIC Kaplamanın Ana Özellikleri |
||
SiC-CVD Özellikleri |
||
Kristal Yapısı |
FCC β fazı |
|
Yoğunluk |
g/cm³ |
3.21 |
Sertlik |
Vickers sertliği |
2500 |
Tane Boyutu |
μm |
2~10 |
Kimyasal Saflık |
% |
99.99995 |
Isı Kapasitesi |
J kg-1 K-1 |
640 |
Süblimleşme Sıcaklığı |
℃ |
2700 |
Feleksural Dayanım |
MPa (RT 4 nokta) |
415 |
Young Modülü |
Gpa (4pt viraj, 1300°C) |
430 |
Termal Genleşme (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Isı iletkenliği |
(W/mK) |
300 |
Dayanıklı SiC Kaplamalı Namlu Süseptörünün Özellikleri
- Hem grafit alt tabaka hem de silisyum karbür tabakası iyi bir yoğunluğa sahiptir ve yüksek sıcaklık ve aşındırıcı çalışma ortamlarında iyi bir koruyucu rol oynayabilir.
- Tek kristal büyütme için kullanılan silisyum karbür kaplı suseptör çok yüksek yüzey düzlüğüne sahiptir.
- Grafit substrat ile silisyum karbür katman arasındaki termal genleşme katsayısı farkını azaltın, çatlama ve delaminasyonu önlemek için bağlanma gücünü etkili bir şekilde artırın.
- Hem grafit alt katman hem de silisyum karbür katman, yüksek termal iletkenliğe ve mükemmel ısı dağıtım özelliklerine sahiptir.
- Yüksek erime noktası, yüksek sıcaklıkta oksidasyon direnci, korozyon direnci.