LPE için Dayanıklı SiC Kaplı Namlu Susceptor

Mükemmel yoğunluğu ve termal iletkenliği ile LPE için Semicorex Dayanıklı SiC-Kaplamalı Namlu Susceptor, LPE proseslerinde ve diğer yarı iletken üretim uygulamalarında kullanım için ideal seçimdir. Yüksek saflıkta SiC kaplaması, üstün koruma ve ısı dağıtım özellikleri sunarak onu güvenilir ve tutarlı sonuçlar için ilk tercih haline getirir.

Talep Gönder

Ürün Açıklaması

Üstün ısı ve korozyon direncine sahip yüksek kaliteli bir grafit suseptöre ihtiyacınız varsa, LPE için Semicorex Dayanıklı SiC-Kaplamalı Namlu Susceptor'dan başkasına bakmayın. Silisyum karbür kaplaması, olağanüstü termal iletkenlik ve ısı dağılımı sağlayarak en zorlu yüksek sıcaklık ortamlarında bile güvenilir ve tutarlı performans sağlar.

LPE için Dayanıklı SiC Kaplı Namlu Susceptörümüz, termal profilin düzgünlüğünü sağlayarak en iyi laminer gaz akış modelini elde etmek için tasarlanmıştır. Bu, gofret çipinde yüksek kaliteli epitaksiyel büyüme sağlayarak herhangi bir kontaminasyonu veya safsızlık difüzyonunu önlemeye yardımcı olur.

LPE için Dayanıklı SiC Kaplı Namlu Susceptor'umuz hakkında daha fazla bilgi edinmek için bugün bize ulaşın.

LPE için Dayanıklı SiC Kaplı Namlu Susceptor Parametreleri

CVD-SIC Kaplamanın Ana Özellikleri
SiC-CVD Özellikleri
Kristal yapı	FCC Î² fazı
Yoğunluk	g/cm³	3.21
Sertlik	Vickers sertliği	2500
Tane büyüklüğü	ım¼m	2~10
Kimyasal Saflık	%	99.99995
Isı kapasitesi	J·kg-1 ·K-1	640
Süblimleşme Sıcaklığı	℃	2700
Feleksural Mukavemet	MPa (RT 4 noktalı)	415
Youngâ s Modülü	Gpa (4pt viraj, 1300â)	430
Termal Genleşme (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Termal iletkenlik	(W/mK)	300

LPE için Dayanıklı SiC Kaplı Namlu Susceptor Özellikleri

- Hem grafit alt tabaka hem de silisyum karbür tabaka iyi bir yoğunluğa sahiptir ve yüksek sıcaklıkta ve aşındırıcı çalışma ortamlarında iyi bir koruyucu rol oynayabilir.

- Tek kristal büyümesi için kullanılan silisyum karbür kaplı suseptör çok yüksek yüzey düzgünlüğüne sahiptir.

- Grafit alt tabaka ile silisyum karbür katman arasındaki termal genleşme katsayısındaki farkı azaltın, çatlamayı ve delaminasyonu önlemek için bağlanma gücünü etkin bir şekilde artırın.

- Hem grafit substrat hem de silisyum karbür tabaka, yüksek bir termal iletkenliğe ve mükemmel ısı dağıtım özelliklerine sahiptir.

- Yüksek erime noktası, yüksek sıcaklık oksidasyon direnci, korozyon direnci.