Yarı iletken üretimi söz konusu olduğunda Semicorex Yüksek Sıcaklık SiC Kaplamalı Namlu Süseptör üstün performans ve güvenilirlik açısından en iyi seçimdir. Yüksek kaliteli SiC kaplaması ve olağanüstü ısı iletkenliği, onu en zorlu yüksek sıcaklık ve aşındırıcı ortamlarda bile kullanım için ideal kılar.
Semicorex Yüksek Sıcaklık SiC Kaplı Namlu Süseptör, tek kristal büyütme ve yüksek ısı ve korozyon direnci gerektiren diğer yarı iletken üretim uygulamaları için mükemmel seçimdir. Silisyum karbür kaplaması üstün koruma ve ısı dağıtım özellikleri sunarak en zorlu ortamlarda bile güvenilir ve tutarlı performans sağlar.
Semicorex olarak yüksek kaliteli, uygun maliyetli, yüksek sıcaklığa dayanıklı SiC kaplı varil tutucu sağlamaya odaklanıyor, müşteri memnuniyetini ön planda tutuyor ve uygun maliyetli çözümler sunuyoruz. Yüksek kaliteli ürünler ve olağanüstü müşteri hizmetleri sunarak uzun vadeli ortağınız olmayı sabırsızlıkla bekliyoruz.
Yüksek Sıcaklık SiC Kaplı Namlu Süseptörünün Parametreleri
CVD-SIC Kaplamanın Ana Özellikleri |
||
SiC-CVD Özellikleri |
||
Kristal Yapısı |
FCC β fazı |
|
Yoğunluk |
g/cm³ |
3.21 |
Sertlik |
Vickers sertliği |
2500 |
Tane Boyutu |
μm |
2~10 |
Kimyasal Saflık |
% |
99.99995 |
Isı Kapasitesi |
J kg-1 K-1 |
640 |
Süblimleşme Sıcaklığı |
℃ |
2700 |
Feleksural Dayanım |
MPa (RT 4 nokta) |
415 |
Young Modülü |
Gpa (4pt viraj, 1300°C) |
430 |
Termal Genleşme (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Isı iletkenliği |
(W/mK) |
300 |
Yüksek Sıcaklık SiC Kaplamalı Namlu Süseptörünün Özellikleri
- Hem grafit alt tabaka hem de silisyum karbür tabakası iyi bir yoğunluğa sahiptir ve yüksek sıcaklık ve aşındırıcı çalışma ortamlarında iyi bir koruyucu rol oynayabilir.
- Tek kristal büyütme için kullanılan silisyum karbür kaplı suseptör çok yüksek yüzey düzlüğüne sahiptir.
- Grafit substrat ile silisyum karbür katman arasındaki termal genleşme katsayısı farkını azaltın, çatlama ve delaminasyonu önlemek için bağlanma gücünü etkili bir şekilde artırın.
- Hem grafit alt katman hem de silisyum karbür katman, yüksek termal iletkenliğe ve mükemmel ısı dağıtım özelliklerine sahiptir.
- Yüksek erime noktası, yüksek sıcaklıkta oksidasyon direnci, korozyon direnci.