Yarı iletken üretimi söz konusu olduğunda, Semicorex Yüksek Sıcaklık SiC Kaplı Barrel Susceptor, üstün performans ve güvenilirlik için en iyi seçimdir. Yüksek kaliteli SiC kaplaması ve olağanüstü termal iletkenliği, onu en zorlu yüksek sıcaklık ve aşındırıcı ortamlarda bile kullanım için ideal hale getirir.
Semicorex Yüksek Sıcaklık SiC Kaplı Barrel Susceptor, tek kristal büyümesi ve yüksek ısı ve korozyon direnci gerektiren diğer yarı iletken üretim uygulamaları için mükemmel bir seçimdir. Silisyum karbür kaplaması, en zorlu ortamlarda bile güvenilir ve tutarlı performans sağlayarak üstün koruma ve ısı dağıtım özellikleri sağlar.
Semicorex olarak, yüksek kaliteli, uygun maliyetli, yüksek sıcaklık SiC kaplı kovan suseptör sağlamaya odaklanıyor, müşteri memnuniyetini ön planda tutuyor ve uygun maliyetli çözümler sunuyoruz. Yüksek kaliteli ürünler ve olağanüstü müşteri hizmetleri sunarak uzun vadeli ortağınız olmayı dört gözle bekliyoruz.
Yüksek Sıcaklık SiC Kaplı Namlu Susceptor Parametreleri
CVD-SIC Kaplamanın Ana Özellikleri |
||
SiC-CVD Özellikleri |
||
Kristal yapı |
FCC β fazı |
|
Yoğunluk |
g/cm³ |
3.21 |
Sertlik |
Vickers sertliği |
2500 |
Tane büyüklüğü |
ım¼m |
2~10 |
Kimyasal Saflık |
% |
99.99995 |
Isı kapasitesi |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Süblimleşme Sıcaklığı |
℃ |
2700 |
Feleksural Mukavemet |
MPa (RT 4 noktalı) |
415 |
Youngâ s Modülü |
Gpa (4pt viraj, 1300â) |
430 |
Termal Genleşme (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Termal iletkenlik |
(W/mK) |
300 |
Yüksek Sıcaklık SiC Kaplı Namlu Susceptor'un Özellikleri
- Hem grafit alt tabaka hem de silisyum karbür tabaka iyi bir yoğunluğa sahiptir ve yüksek sıcaklıkta ve aşındırıcı çalışma ortamlarında iyi bir koruyucu rol oynayabilir.
- Tek kristal büyümesi için kullanılan silisyum karbür kaplı suseptör çok yüksek yüzey düzgünlüğüne sahiptir.
- Grafit alt tabaka ile silisyum karbür katman arasındaki termal genleşme katsayısındaki farkı azaltın, çatlamayı ve delaminasyonu önlemek için bağlanma gücünü etkin bir şekilde artırın.
- Hem grafit substrat hem de silisyum karbür tabakası, yüksek bir termal iletkenliğe ve mükemmel ısı dağıtım özelliklerine sahiptir.
- Yüksek erime noktası, yüksek sıcaklık oksidasyon direnci, korozyon direnci.