Semicorex'in ICP Plazma Aşındırma Plakası, levha işleme ve ince film biriktirme işlemleri için üstün ısı ve korozyon direnci sağlar. Ürünümüz, yüksek sıcaklıklara ve sert kimyasal temizlemeye dayanacak şekilde tasarlanmış olup dayanıklılık ve uzun ömür sağlar. Temiz ve pürüzsüz bir yüzeye sahip taşıyıcımız, bozulmamış gofretlerin taşınması için mükemmeldir.
İnce film biriktirme ve levha işleme söz konusu olduğunda Semicorex'in ICP Plazma Gravür Plakasına güvenin. Ürünümüz üstün ısı ve korozyon direnci, hatta termal homojenlik ve optimum laminer gaz akış modelleri sunar. Temiz ve pürüzsüz bir yüzeye sahip taşıyıcımız, bozulmamış gofretlerin taşınması için mükemmeldir.
ICP Plazma Aşındırma Plakamız, termal profilin düzgünlüğünü sağlayarak en iyi laminer gaz akış modelini elde edecek şekilde tasarlanmıştır. Bu, levha çipinde yüksek kaliteli epitaksiyel büyüme sağlayarak herhangi bir kirlenmenin veya yabancı maddelerin yayılmasının önlenmesine yardımcı olur.
ICP Plazma Gravür Plakamız hakkında daha fazla bilgi edinmek için bugün bizimle iletişime geçin.
ICP Plazma Aşındırma Plakasının Parametreleri
CVD-SIC Kaplamanın Ana Özellikleri |
||
SiC-CVD Özellikleri |
||
Kristal Yapısı |
FCC β fazı |
|
Yoğunluk |
g/cm³ |
3.21 |
Sertlik |
Vickers sertliği |
2500 |
Tane Boyutu |
μm |
2~10 |
Kimyasal Saflık |
% |
99.99995 |
Isı Kapasitesi |
J kg-1 K-1 |
640 |
Süblimleşme Sıcaklığı |
℃ |
2700 |
Feleksural Dayanım |
MPa (RT 4 nokta) |
415 |
Young Modülü |
Gpa (4pt viraj, 1300°C) |
430 |
Termal Genleşme (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Isı iletkenliği |
(W/mK) |
300 |
ICP Plazma Gravür Plakasının Özellikleri
- Soyulmaktan kaçının ve tüm yüzeyin kaplanmasını sağlayın
Yüksek sıcaklıkta oksidasyon direnci: 1600°C'ye kadar yüksek sıcaklıklarda stabildir
Yüksek saflık: Yüksek sıcaklıktaki klorlama koşulları altında CVD kimyasal buhar biriktirme yoluyla yapılır.
Korozyon direnci: yüksek sertlik, yoğun yüzey ve ince parçacıklar.
Korozyon direnci: asit, alkali, tuz ve organik reaktifler.
- En iyi laminer gaz akış modelini elde edin
- Termal profilin düzgünlüğünü garanti edin
- Herhangi bir kirlenmeyi veya yabancı maddelerin yayılmasını önleyin