Yüksek kaliteli epitaksi ve MOCVD süreçleri için PSS İşlemi için Semicorex'in ICP Plazma Dağlama Sistemini seçin. Ürünümüz, üstün ısı ve korozyon direnci sunan bu işlemler için özel olarak tasarlanmıştır. Temiz ve pürüzsüz bir yüzeye sahip taşıyıcımız, bozulmamış gofretleri taşımak için mükemmeldir.
Semicorex'in PSS Prosesi için ICP Plazma Dağlama Sistemi, gofret işleme ve ince film biriktirme prosesleri için mükemmel ısı ve korozyon direnci sağlar. İnce SiC kristal kaplamamız, temiz ve pürüzsüz bir yüzey sunarak bozulmamış gofretlerin optimum şekilde işlenmesini sağlar.
Semicorex'te müşterilerimize yüksek kaliteli, uygun maliyetli ürünler sunmaya odaklanıyoruz. PSS işlemi için ICP plazma aşındırma sistemimiz fiyat avantajına sahiptir ve birçok Avrupa ve Amerika pazarına ihraç edilmektedir. Tutarlı kaliteli ürünler ve olağanüstü müşteri hizmetleri sunarak uzun vadeli ortağınız olmayı hedefliyoruz.
PSS Süreci için ICP Plazma Dağlama Sistemimiz hakkında daha fazla bilgi edinmek için bugün bize ulaşın.
PSS Prosesi için ICP Plazma Dağlama Sisteminin Parametreleri
CVD-SIC Kaplamanın Ana Özellikleri |
||
SiC-CVD Özellikleri |
||
Kristal yapı |
FCC β fazı |
|
Yoğunluk |
g/cm³ |
3.21 |
Sertlik |
Vickers sertliği |
2500 |
Tane büyüklüğü |
ım¼m |
2~10 |
Kimyasal Saflık |
% |
99.99995 |
Isı kapasitesi |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Süblimleşme Sıcaklığı |
℃ |
2700 |
Feleksural Mukavemet |
MPa (RT 4 noktalı) |
415 |
Youngâ s Modülü |
Gpa (4pt viraj, 1300â) |
430 |
Termal Genleşme (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Termal iletkenlik |
(W/mK) |
300 |
PSS İşlemi için ICP Plazma Dağlama Sisteminin Özellikleri
- Soyulmayı önleyin ve tüm yüzeyin kaplanmasını sağlayın
Yüksek sıcaklık oksidasyon direnci: 1600°C'ye kadar yüksek sıcaklıklarda kararlı
Yüksek saflık: yüksek sıcaklıkta klorlama koşulları altında CVD kimyasal buhar biriktirme ile yapılır.
Korozyon direnci: yüksek sertlik, yoğun yüzey ve ince parçacıklar.
Korozyon direnci: asit, alkali, tuz ve organik reaktifler.
- En iyi laminer gaz akış modelini elde edin
- Termal profilin düzgünlüğünü garanti eder
- Herhangi bir kontaminasyonu veya safsızlık difüzyonunu önleyin