Semicorex SiC Kaplamalı ICP Etching Carrier, Çin'de yüksek ısı ve korozyon direncine sahip epitaksi ekipmanı için özel olarak tasarlanmıştır. Ürünlerimiz iyi bir fiyat avantajına sahiptir ve Avrupa ve Amerika pazarlarının çoğunu kapsamaktadır. Çin'deki uzun vadeli ortağınız olmayı dört gözle bekliyoruz.
Epitaksi veya MOCVD gibi ince film biriktirme fazlarında veya aşındırma gibi gofret taşıma işlemlerinde kullanılan gofret taşıyıcıları, yüksek sıcaklıklara ve sert kimyasal temizliğe dayanmalıdır. Semicorex, yüksek saflıkta SiC Kaplamalı ICP Dağlama Taşıyıcısı sağlar; üstün ısı direnci, tutarlı epi tabakası kalınlığı ve direnci ve dayanıklı kimyasal direnç için eşit termal homojenlik sağlar. İnce SiC kristal kaplama temiz, pürüzsüz bir yüzey sağlar ve bozulmamış gofretler, tüm alanları boyunca birçok noktada duyarlı ile temas ettiğinden kullanım için kritiktir.
SiC Kaplamalı ICP Dağlama Taşıyıcımız, termal profilin düzgünlüğünü sağlayarak en iyi laminer gaz akış modelini elde etmek için tasarlanmıştır. Bu, gofret çipinde yüksek kaliteli epitaksiyel büyüme sağlayarak herhangi bir kontaminasyonu veya safsızlık difüzyonunu önlemeye yardımcı olur.
SiC Kaplamalı ICP Dağlama Taşıyıcımız hakkında daha fazla bilgi edinmek için bugün bize ulaşın.
SiC Kaplamalı ICP Dağlama Taşıyıcısının Parametreleri
CVD-SIC Kaplamanın Ana Özellikleri |
||
SiC-CVD Özellikleri |
||
Kristal yapı |
FCC β fazı |
|
Yoğunluk |
g/cm³ |
3.21 |
Sertlik |
Vickers sertliği |
2500 |
Tane büyüklüğü |
ım¼m |
2~10 |
Kimyasal Saflık |
% |
99.99995 |
Isı kapasitesi |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Süblimleşme Sıcaklığı |
℃ |
2700 |
Feleksural Mukavemet |
MPa (RT 4 noktalı) |
415 |
Youngâ s Modülü |
Gpa (4pt viraj, 1300â) |
430 |
Termal Genleşme (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Termal iletkenlik |
(W/mK) |
300 |
Yüksek saflıkta SiC Kaplamalı ICP Dağlama Taşıyıcısının Özellikleri
- Soyulmayı önleyin ve tüm yüzeyin kaplanmasını sağlayın
Yüksek sıcaklık oksidasyon direnci: 1600°C'ye kadar yüksek sıcaklıklarda kararlı
Yüksek saflık: yüksek sıcaklıkta klorlama koşulları altında CVD kimyasal buhar biriktirme ile yapılır.
Korozyon direnci: yüksek sertlik, yoğun yüzey ve ince parçacıklar.
Korozyon direnci: asit, alkali, tuz ve organik reaktifler.
- En iyi laminer gaz akış modelini elde edin
- Termal profilin düzgünlüğünü garanti eder
- Herhangi bir kontaminasyonu veya safsızlık difüzyonunu önleyin