ICP Silikon Karbon Kaplı Grafit

Epitaksiyel büyütme işleminde kullanılan gofret taşıyıcıları, yüksek sıcaklıklara ve sert kimyasal temizliğe dayanmalıdır. Semicorex ICP Silikon Karbon Kaplı Grafit suseptörler, bu zorlu epitaksi ekipmanı uygulamaları için özel olarak tasarlanmıştır. Ürünümüz, yüksek sıcaklıklara ve sert kimyasal temizlemeye dayanacak şekilde tasarlanmıştır, uzun ömür ve optimum sonuçlar sağlar.
ICP Silikon Karbon Kaplı Grafitimiz, termal profilin düzgünlüğünü sağlayarak en iyi laminer gaz akış modelini elde etmek için tasarlanmıştır. Bu, gofret çipinde yüksek kaliteli epitaksiyel büyüme sağlayarak herhangi bir kontaminasyonu veya safsızlık difüzyonunu önlemeye yardımcı olur.
ICP Silikon Karbon Kaplı Grafitimiz hakkında daha fazla bilgi edinmek için bugün bize ulaşın.

ICP Silikon Karbon Kaplı Grafit Parametreleri

ICP Silikon Karbon Kaplı Grafitin Özellikleri

- Soyulmayı önleyin ve tüm yüzeyin kaplanmasını sağlayın

Yüksek sıcaklık oksidasyon direnci: 1600°C'ye kadar yüksek sıcaklıklarda kararlı

Yüksek saflık: yüksek sıcaklıkta klorlama koşulları altında CVD kimyasal buhar biriktirme ile yapılır.

Korozyon direnci: yüksek sertlik, yoğun yüzey ve ince parçacıklar.

Korozyon direnci: asit, alkali, tuz ve organik reaktifler.

- En iyi laminer gaz akış modelini elde edin

- Termal profilin düzgünlüğünü garanti eder

- Herhangi bir kontaminasyonu veya safsızlık difüzyonunu önleyin