Modern teknolojik ilerlemenin temel taşı olan yarı iletken üretimi, sürekli olarak daha küçük, daha hızlı ve daha verimli entegre devrelerin peşindedir. Bu aralıksız arayış, her adımın ağırlıklı olarak yüksek performanslı, yüksek kaliteli ve yüksek hassasiyetli ekipmanlara dayandığı, giderek daha ha......
Devamını okuElektrostatik aynalar (ESC'ler), kritik işlem adımları sırasında hassas plakaları ve alt tabakaları tutmak ve konumlandırmak için hasarsız, yüksek düzeyde kontrol edilebilir bir yöntem sunan, yarı iletken imalatında ve düz panel ekran üretiminde vazgeçilmez hale geldi. Bu makale ESC teknolojisinin i......
Devamını okuSilisyum karbürün önemli bir politipi olan 3C-SiC'nin gelişimi, yarı iletken malzeme biliminin sürekli ilerlemesini yansıtmaktadır. 1980'lerde Nishino ve ark. ilk olarak kimyasal buhar biriktirme (CVD)[1] kullanarak silikon bir substrat üzerinde 4 μm kalınlığında 3C-SiC film elde ederek 3C-SiC ince ......
Devamını oku