Silisyum karbürün önemli bir politipi olan 3C-SiC'nin gelişimi, yarı iletken malzeme biliminin sürekli ilerlemesini yansıtmaktadır. 1980'lerde Nishino ve ark. ilk olarak kimyasal buhar biriktirme (CVD)[1] kullanarak silikon bir substrat üzerinde 4 μm kalınlığında 3C-SiC film elde ederek 3C-SiC ince ......
Devamını okuTipik olarak 1 mm'yi aşan kalın, yüksek saflıkta silisyum karbür (SiC) katmanları, yarı iletken üretimi ve havacılık teknolojileri dahil olmak üzere çeşitli yüksek değerli uygulamalarda kritik bileşenlerdir. Bu makalede, bu tür katmanların üretilmesi için Kimyasal Buhar Biriktirme (CVD) süreci ele a......
Devamını okuTek kristalli silikon ve polikristalin silikonun her birinin kendine özgü avantajları ve uygulanabilir senaryoları vardır. Tek kristal silikon, mükemmel elektriksel ve mekanik özelliklerinden dolayı yüksek performanslı elektronik ürünler ve mikroelektronik için uygundur. Polikristalin silikon ise dü......
Devamını okuGofret hazırlama sürecinde iki temel bağlantı vardır: biri alt tabakanın hazırlanması, diğeri ise epitaksiyel sürecin uygulanmasıdır. Yarı iletken tek kristal malzemeden özenle yapılmış bir levha olan alt tabaka, yarı iletken cihazlar üretmek için bir temel olarak doğrudan levha üretim sürecine yerl......
Devamını okuKimyasal Buhar Biriktirme (CVD), çeşitli alt tabakalar üzerinde yüksek kaliteli, uyumlu ince filmler üretmek için yarı iletken endüstrisinde yaygın olarak kullanılan çok yönlü bir ince film biriktirme tekniğidir. Bu işlem, gaz halindeki öncüllerin ısıtılmış bir substrat yüzeyi üzerinde kimyasal reak......
Devamını oku