Homoepitaksi ve heteroepitaksi malzeme biliminde önemli roller oynar. Homoepitaksi, aynı malzemeden yapılmış bir substrat üzerinde kristalin bir tabakanın büyümesini içerir ve mükemmel kafes uyumu nedeniyle minimum kusur sağlar. Buna karşılık, heteroepitaksi farklı bir malzeme substratı üzerinde kri......
Devamını oku300 mm çapındaki silikon parlatma plakaları için 0,13μm ila 28nm'den daha küçük hat genişliklerine sahip IC çip devresi işlemlerinin yüksek kalite gereksinimlerini elde etmek için, plakanın yüzeyindeki metal iyonları gibi yabancı maddelerden kaynaklanan kirlenmeyi en aza indirmek önemlidir.
Devamını oku