Semicorex'in Gofret İşleme için PSS Dağlama Taşıyıcı Tepsisi, zorlu epitaksi ekipmanı uygulamaları için özel olarak tasarlanmıştır. Ultra saf grafit taşıyıcımız, MOCVD, epitaksi suseptörleri, gözleme veya uydu platformları gibi ince film biriktirme aşamaları ve aşındırma gibi gofret işleme işlemleri için idealdir. Gofret İşleme için PSS Dağlama Taşıyıcı Tepsi, yüksek ısı ve korozyon direncine, mükemmel ısı dağıtım özelliklerine ve yüksek termal iletkenliğe sahiptir. Ürünlerimiz uygun maliyetli ve iyi bir fiyat avantajına sahiptir. Birçok Avrupa ve Amerika pazarına hitap ediyoruz ve Çin'deki uzun vadeli ortağınız olmayı dört gözle bekliyoruz.
Semicorex'ten Gofret İşleme için PSS Dağlama Taşıyıcı Tepsi, epitaksiyel büyüme ve gofret işleme süreçleri için gereken zorlu ortamlar için tasarlanmıştır. Ultra saf grafit taşıyıcımız, MOCVD ve epitaksi suseptörleri, gözleme veya uydu platformları gibi ince film biriktirme aşamaları sırasında gofretleri desteklemek için tasarlanmıştır. SiC kaplı taşıyıcı, yüksek ısı ve korozyon direncine, mükemmel ısı dağıtım özelliklerine ve yüksek termal iletkenliğe sahiptir. Ürünlerimiz uygun maliyetlidir ve iyi bir fiyat avantajı sunar.
Gofret İşleme için PSS Dağlama Taşıyıcı Tepsi Parametreleri
CVD-SIC Kaplamanın Ana Özellikleri |
||
SiC-CVD Özellikleri |
||
Kristal yapı |
FCC β fazı |
|
Yoğunluk |
g/cm³ |
3.21 |
Sertlik |
Vickers sertliği |
2500 |
Tane büyüklüğü |
ım¼m |
2~10 |
Kimyasal Saflık |
% |
99.99995 |
Isı kapasitesi |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Süblimleşme Sıcaklığı |
℃ |
2700 |
Feleksural Mukavemet |
MPa (RT 4 noktalı) |
415 |
Youngâ s Modülü |
Gpa (4pt viraj, 1300â) |
430 |
Termal Genleşme (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Termal iletkenlik |
(W/mK) |
300 |
Gofret İşleme için PSS Dağlama Taşıyıcı Tepsisinin Özellikleri
- Soyulmayı önleyin ve tüm yüzeyin kaplanmasını sağlayın
Yüksek sıcaklık oksidasyon direnci: 1600°C'ye kadar yüksek sıcaklıklarda kararlı
Yüksek saflık: yüksek sıcaklıkta klorlama koşulları altında CVD kimyasal buhar biriktirme ile yapılır.
Korozyon direnci: yüksek sertlik, yoğun yüzey ve ince parçacıklar.
Korozyon direnci: asit, alkali, tuz ve organik reaktifler.
- En iyi laminer gaz akış modelini elde edin
- Termal profilin düzgünlüğünü garanti eder
- Herhangi bir kontaminasyonu veya safsızlık difüzyonunu önleyin