Semicorex'in Gofret İşleme için PSS Gravür Taşıyıcı Tepsisi, zorlu epitaksi ekipmanı uygulamaları için özel olarak tasarlanmıştır. Ultra saf grafit taşıyıcımız, MOCVD, epitaksi tutucular, gözleme veya uydu platformları gibi ince film biriktirme aşamaları ve aşındırma gibi levha işleme işlemleri için idealdir. Gofret İşleme için PSS Gravür Taşıyıcı Tepsi, yüksek ısı ve korozyon direncine, mükemmel ısı dağıtım özelliklerine ve yüksek termal iletkenliğe sahiptir. Ürünlerimiz uygun maliyetli olup iyi bir fiyat avantajına sahiptir. Birçok Avrupa ve Amerika pazarına hitap ediyoruz ve Çin'deki uzun vadeli ortağınız olmayı sabırsızlıkla bekliyoruz.
Semicorex'in Gofret İşleme için PSS Gravür Taşıyıcı Tepsisi, epitaksiyel büyüme ve gofret işleme süreçleri için gereken zorlu ortamlar için tasarlanmıştır. Ultra saf grafit taşıyıcımız, MOCVD ve epitaksi suseptörleri, gözleme veya uydu platformları gibi ince film biriktirme aşamalarında levhaları desteklemek üzere tasarlanmıştır. SiC kaplı taşıyıcı, yüksek ısı ve korozyon direncine, mükemmel ısı dağıtım özelliklerine ve yüksek ısı iletkenliğine sahiptir. Ürünlerimiz uygun maliyetli olup iyi bir fiyat avantajı sunmaktadır.
Gofret İşleme için PSS Aşındırma Taşıyıcı Tepsinin Parametreleri
CVD-SIC Kaplamanın Ana Özellikleri |
||
SiC-CVD Özellikleri |
||
Kristal Yapısı |
FCC β fazı |
|
Yoğunluk |
g/cm³ |
3.21 |
Sertlik |
Vickers sertliği |
2500 |
Tane Boyutu |
μm |
2~10 |
Kimyasal Saflık |
% |
99.99995 |
Isı Kapasitesi |
J kg-1 K-1 |
640 |
Süblimleşme Sıcaklığı |
℃ |
2700 |
Feleksural Dayanım |
MPa (RT 4 nokta) |
415 |
Young Modülü |
Gpa (4pt viraj, 1300°C) |
430 |
Termal Genleşme (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Isı iletkenliği |
(W/mK) |
300 |
Gofret İşleme için PSS Gravür Taşıyıcı Tepsinin Özellikleri
- Soyulmaktan kaçının ve tüm yüzeyin kaplanmasını sağlayın
Yüksek sıcaklıkta oksidasyon direnci: 1600°C'ye kadar yüksek sıcaklıklarda stabildir
Yüksek saflık: Yüksek sıcaklıktaki klorlama koşulları altında CVD kimyasal buhar biriktirme yoluyla yapılır.
Korozyon direnci: yüksek sertlik, yoğun yüzey ve ince parçacıklar.
Korozyon direnci: asit, alkali, tuz ve organik reaktifler.
- En iyi laminer gaz akış modelini elde edin
- Termal profilin düzgünlüğünü garanti edin
- Herhangi bir kirlenmeyi veya yabancı maddelerin yayılmasını önleyin