Semicorex'in PSS Aşındırma Uygulamaları için Silikon Aşındırma Plakası, epitaksiyel büyüme ve levha işleme işlemleri için özel olarak tasarlanmış yüksek kaliteli, ultra saf bir grafit taşıyıcıdır. Taşıyıcımız zorlu ortamlara, yüksek sıcaklıklara ve sert kimyasal temizliğe dayanabilir. PSS aşındırma uygulamalarına yönelik silikon aşındırma plakası, mükemmel ısı dağıtım özelliklerine, yüksek termal iletkenliğe sahiptir ve uygun maliyetlidir. Ürünlerimiz birçok Avrupa ve Amerika pazarında yaygın olarak kullanılmaktadır ve Çin'deki uzun vadeli ortağınız olmayı sabırsızlıkla bekliyoruz.
Semicorex'in PSS Dağlama Uygulamaları için Silikon Aşındırma Plakası, en zorlu epitaksi ekipmanı uygulamaları için tasarlanmıştır. Ultra saf grafit taşıyıcımız zorlu ortamlara, yüksek sıcaklıklara ve sert kimyasal temizlemeye dayanabilir. SiC kaplı taşıyıcı mükemmel ısı dağıtım özelliklerine, yüksek ısı iletkenliğine sahiptir ve uygun maliyetlidir.
PSS Aşındırma Uygulamaları için Silikon Aşındırma Plakasının Parametreleri
CVD-SIC Kaplamanın Ana Özellikleri |
||
SiC-CVD Özellikleri |
||
Kristal Yapısı |
FCC β fazı |
|
Yoğunluk |
g/cm³ |
3.21 |
Sertlik |
Vickers sertliği |
2500 |
Tane Boyutu |
μm |
2~10 |
Kimyasal Saflık |
% |
99.99995 |
Isı Kapasitesi |
J kg-1 K-1 |
640 |
Süblimleşme Sıcaklığı |
℃ |
2700 |
Feleksural Dayanım |
MPa (RT 4 nokta) |
415 |
Young Modülü |
Gpa (4pt viraj, 1300°C) |
430 |
Termal Genleşme (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Isı iletkenliği |
(W/mK) |
300 |
PSS Aşındırma Uygulamaları için Silikon Aşındırma Plakasının Özellikleri
- Soyulmaktan kaçının ve tüm yüzeyin kaplanmasını sağlayın
Yüksek sıcaklıkta oksidasyon direnci: 1600°C'ye kadar yüksek sıcaklıklarda stabildir
Yüksek saflık: Yüksek sıcaklıktaki klorlama koşulları altında CVD kimyasal buhar biriktirme yoluyla yapılır.
Korozyon direnci: yüksek sertlik, yoğun yüzey ve ince parçacıklar.
Korozyon direnci: asit, alkali, tuz ve organik reaktifler.
- En iyi laminer gaz akış modelini elde edin
- Termal profilin düzgünlüğünü garanti edin
- Herhangi bir kirlenmeyi veya yabancı maddelerin yayılmasını önleyin