Semicorex'in Gofret Transferi için PSS Taşıma Taşıyıcısı, en zorlu epitaksi ekipmanı uygulamaları için tasarlanmıştır. Ultra saf grafit taşıyıcımız zorlu ortamlara, yüksek sıcaklıklara ve sert kimyasal temizlemeye dayanabilir. SiC kaplı taşıyıcı mükemmel ısı dağıtım özelliklerine, yüksek ısı iletkenliğine sahiptir ve uygun maliyetlidir. Ürünlerimiz birçok Avrupa ve Amerika pazarında yaygın olarak kullanılmaktadır ve Çin'deki uzun vadeli ortağınız olmayı sabırsızlıkla bekliyoruz.
Semicorex'in Gofret Transferi için PSS Taşıma Taşıyıcısı, epitaksiyel büyüme ve gofret işleme süreçleri için yüksek sıcaklık ve sert kimyasal temizleme gereksinimlerini karşılamak üzere tasarlanmıştır. Ultra saf grafit taşıyıcımız, MOCVD, epitaksi tutucular, gözleme veya uydu platformları gibi ince film biriktirme aşamaları ve aşındırma gibi levha işleme işlemleri için idealdir. SiC kaplı taşıyıcı mükemmel ısı dağıtım özelliklerine, yüksek ısı iletkenliğine sahiptir ve uygun maliyetlidir.
Gofret Transferi için PSS Taşıma Taşıyıcımız hakkında daha fazla bilgi edinmek için bugün bizimle iletişime geçin.
Gofret Transferi için PSS Taşıma Taşıyıcısının Parametreleri
CVD-SIC Kaplamanın Ana Özellikleri |
||
SiC-CVD Özellikleri |
||
Kristal Yapısı |
FCC β fazı |
|
Yoğunluk |
g/cm³ |
3.21 |
Sertlik |
Vickers sertliği |
2500 |
Tane Boyutu |
μm |
2~10 |
Kimyasal Saflık |
% |
99.99995 |
Isı Kapasitesi |
J kg-1 K-1 |
640 |
Süblimleşme Sıcaklığı |
℃ |
2700 |
Feleksural Dayanım |
MPa (RT 4 nokta) |
415 |
Young Modülü |
Gpa (4pt viraj, 1300°C) |
430 |
Termal Genleşme (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Isı iletkenliği |
(W/mK) |
300 |
Gofret Transferi için PSS Taşıma Taşıyıcısının Özellikleri
- Soyulmaktan kaçının ve tüm yüzeyin kaplanmasını sağlayın
Yüksek sıcaklıkta oksidasyon direnci: 1600°C'ye kadar yüksek sıcaklıklarda stabildir
Yüksek saflık: Yüksek sıcaklıktaki klorlama koşulları altında CVD kimyasal buhar biriktirme yoluyla yapılır.
Korozyon direnci: yüksek sertlik, yoğun yüzey ve ince parçacıklar.
Korozyon direnci: asit, alkali, tuz ve organik reaktifler.
- En iyi laminer gaz akış modelini elde edin
- Termal profilin düzgünlüğünü garanti edin
- Herhangi bir kirlenmeyi veya yabancı maddelerin yayılmasını önleyin