Çin Yarı İletken Bileşenler Üreticiler, Tedarikçiler, Fabrika

Profesyonel üretim olarak size Yarı İletken Bileşenler sunmak istiyoruz. Semicorex, yarı iletken işlemede iyileştirme ortağınızdır. Silisyum karbür kaplamalarımız yoğun, yüksek sıcaklığa ve kimyasallara dayanıklıdır ve yarı iletken levha ve levha işleme ve yarı iletken imalatı da dahil olmak üzere yarı iletken imalatının tüm döngüsünde sıklıkla kullanılır.

Yüksek saflıkta SiC kaplı bileşenler yarı iletkendeki işlemler için çok önemlidir. Teklifimiz, kristal yetiştirme sıcak bölgeleri için grafit sarf malzemelerinden (ısıtıcılar, pota tutucular, yalıtım), Epitaxy veya MOCVD için silikon karbür kaplı grafit tutucular gibi levha işleme ekipmanları için yüksek hassasiyetli grafit bileşenlere kadar uzanır.

Yarı iletken proseslerin avantajları

Epitaksi veya MOCVD gibi ince film biriktirme aşamaları veya dağlama veya iyon implantasyonu gibi levha işleme işlemleri, yüksek sıcaklıklara ve sert kimyasal temizliğe dayanmalıdır. Semicorex, yüksek saflıkta silisyum karbür (SiC) kaplı grafit yapı sağlar ve tutarlı epi katman kalınlığı ve direnci için üstün ısı direnci ve dayanıklı kimyasal direnç, hatta termal tekdüzelik sağlar.

Hazne Kapakları →
Kristal büyütme ve levha işleme prosesinde kullanılan Hazne Kapakları, yüksek sıcaklıklara ve sert kimyasal temizlemeye dayanıklı olmalıdır.

Son Efektör →
Uç efektör, yarı iletken levhaları levha işleme ekipmanı ve taşıyıcılardaki konumlar arasında hareket ettiren robotun elidir.

Giriş Halkaları →
MOCVD ekipmanı tarafından SiC kaplı gaz giriş halkası Bileşik büyümesi, zorlu ortamlarda büyük stabiliteye sahip olan yüksek ısı ve korozyon direncine sahiptir.

Odak Halkası →
Semicorex, Silikon Karbür Kaplamalı odak halkası RTA, RTP veya sert kimyasal temizlik için gerçekten dayanıklıdır.

Gofret Aynası →
Semicorex ultra düz seramik vakumlu gofret aynaları, gofret işleme prosesinde kullanılan yüksek saflıkta SiC kaplıdır.