Tek Kristalli Silikon Elektrotlar

Tek kristalli silikon elektrotlarTipik olarak aşındırma odasının tepesine monte edilir ve üst elektrot görevi görür. Tek kristalli silikon elektrotların yüzeyi, dağlama gazını reaksiyon odasına eşit şekilde iletebilen, eşit şekilde dağılmış mikro deliklere sahiptir. Aşındırma işlemi sırasında, düzgün bir elektrik alanı oluşturmak için alt elektrotla birlikte çalışırlar, bu da hassas aşındırma için ideal bir çalışma koşulunun sağlanmasına katkıda bulunur.

Dikkatli malzeme seçimleri

Semicorex, tek kristalli silikon elektrotlar üretmek için MCZ'de yetiştirilen birinci sınıf monokristalin silikonu seçerek sektör lideri ürün performansı ve kalitesi sunuyor.

1. Ultra yüksek saflık

Semicorex tek kristal silikon elektrotlar %99,9999999'un üzerinde ultra yüksek saflığa sahiptir, bu da dahili metal yabancı maddelerin içeriğinin son derece düşük olduğu anlamına gelir.

2. Olağanüstü direnç bütünlüğü

Geleneksel CZ tek kristalli silikondan farklı olarak Semicorex tarafından kullanılan MCZ ile yetiştirilen monokristalin silikon, %5'in altında direnç eşitliği sağlar. Düşük çözünürlüklü. 0,02 Ω·cm'nin altında, orta çözünürlükte kontrol edilir. 0,2 ila 25Ω·cm arasındadır ve yüksek çözünürlüklüdür. 70-90 Ω·cm arasındadır (talep üzerine özelleştirme yapılabilir).

3. Mükemmel malzeme yapısı

MCZ yöntemiyle büyütülen tek kristalli silikon, daha kararlı bir yapı ve daha az kusur sunarak Semicorex tek kristalli silikon elektrotların olağanüstü plazma korozyon direnci sunmasını ve sert aşındırma çalışma koşullarına dayanmasını sağlar.

---

Yüksek standartta işleme hassasiyeti

Semicorextek kristal silikonelektrotlar, silikon külçeden bitmiş ürüne kadar dilimleme, yüzey taşlama, delik delme, ıslak dağlama ve yüzey cilalama dahil olmak üzere eksiksiz bir üretim süreciyle üretilir. Semicorex, elektrotların çapının, kalınlığının, yüzey düzlemselliğinin, delik aralığının ve açıklığının ideal toleranslar dahilinde korunmasını sağlamak için her adımda sıkı bir hassas kontrol sağlar.

1. Mikro delik işleme

Tek kristalli silikon elektrotlardaki mikro delikler, pürüzsüz ve çapaksız iç duvarlara sahip, düzgün aralıklarla ve tutarlı çaplara (0,2 ila 0,8 mm arasında) sahiptir. Bu, eşit ve istikrarlı dağlama gazı beslemesini etkili bir şekilde garanti eder, böylece levha aşındırma işleminin tekdüzeliğini ve hassasiyetini sağlar.

2. İşleme doğruluğu

Semicorex tek kristal silikon elektrotların işleme doğruluğu 0,3 mm içinde kontrol edilir ve parlatma hassasiyeti 0,1 µm'nin altında sıkı bir şekilde kontrol edilebilir ve ince öğütme 1,6 µm'den azdır.