Silikon Gofret Teknesi

Semicorex, silikon levha tekne yapısını, oluklu çubuk şekli, oluklu diş uzunluğu, şekli, eğim açısı ve toplam levha yükleme kapasitesi dahil olmak üzere özelleştirebilir ve müşteri gereksinimlerine göre üretilebilir. Yüksek sıcaklıktaki silikon tekneler, silikon plakalara temastan kaynaklanan hasarları etkili bir şekilde azaltabilir ve proses verimini artırabilir. Yüksek sıcaklığa dayanıklı "kaymaz kuleler" tasarımı, levhaları yalnızca destek dişinin ucunda destekler. Nazaransilisyum karbürSilikon nispeten düşük bir sertliğe sahiptir, bu da levhalardaki mekanik hasarı azaltır, böylece kafes geçiş hızını artırır ve üretim maliyetlerini etkili bir şekilde azaltır. Kaynaştırılmış silikon tekne birkaç parçadan oluşur: birbirine kaynaştırılan dişler, taban plakası ve üst plaka. Bu, üretim maliyetlerini azaltır. Kısmi hasar durumunda, silikon teknenin tamamı değiştirilmeden hasarlı parçalar değiştirilebilir, bu da kullanım sırasında sahip olma maliyetlerini önemli ölçüde azaltır. Buna ek olarak, silikon tekne, PM ekipmanının sıklığını etkili bir şekilde azaltabilen ve üretim kapasitesini artırabilen polisilikon birikimi için geniş bir üst limite sahiptir.

Semicorex Silikon Gofret Teknesi yenilikçi, amaca yönelik tasarlanmış bir gofret taşıyıcısıdır. 1200 ila 1250 °C arasındaki sıcaklıklarda oksidasyon ve indirgeme işlemleri de dahil olmak üzere, yarı iletken endüstrisinde kullanılan yüksek sıcaklıktaki fırın işlemleri için özel olarak tasarlanmıştır. Silikon karbür (SiC) malzemede bulunmayan performans avantajlarına sahip olan Silikon Gofret Teknesi, yarı iletken üretiminin gerektirdiği zorlu süreçlerle ilgili avantajlar sağlar. Birincisi, silikon malzemenin ultra yüksek saflığı önemlidir; aslında,silikon malzeme9N'nin (%99,9999999) üzerinde ultra yüksek saflık seviyelerine ulaşır, böylece hiçbir metalik veya yabancı yabancı maddenin gofret işlemeyi kirletmemesini sağlar. Bu, performans güvenilirliğinin ve veriminin kirlenmeden büyük ölçüde etkilendiği ileri teknoloji yarı iletken cihaz üretimi için çok önemlidir. Silikon Gofret Teknesi, oksidasyon ve indirgeme işlemleri için çok yüksek sıcaklıklara maruz kalan gofretlerin işlenmesi için en gelişmiş endüstri gereksinimlerine uygun, yüksek düzeyde saflığa sahip ultra temiz bir ortam sağlar.

Bir başka faydası dasilikon malzemeSiC malzemesine göre sertlik özelliklerinin daha düşük olmasıdır. SiC çubukları veya tekneleri sertlik ve dayanıklılıklarıyla bilinir, ancak bu özelliğin kendisi levha işleme sırasında zorluklara yol açabilir. Yüksek sıcaklıklarda levhalar mikro hareket edecektir; teknenin içindeyken hafifçe sıçrayacak, hafifçe kayacak ve kenarları eğilecek. Daha sert bir SiC malzemesi, levhanın ve teknenin özellikleri bu yüksek sıcaklıkta işleme koşulları altında etkileşime girdiğinden, levhanın arka tarafında parçacık veya çizik oluşturma konusunda daha yüksek risk oluşturabilir.

Silikon Gofret Teknesi, silikonun SiC'ye göre nispeten yumuşak karakterinden yararlanarak bu endişeyi hafifletiyor. Sertlikteki azalma, termal döngüler sırasında levhalar tekneyle temas ettiğinde hem daha az sürtünmeye hem de mekanik strese izin verir. Sonuç olarak parçacıklar daha az üretilir ve arka tarafta çizilme riski neredeyse sıfıra indirilir. Ayrıca Silikon Gofret Teknesi, yüzey kusurlarını en aza indirerek kafes kalitesini doğrudan iyileştirir ve işlenmiş gofretlerin genel kalifikasyon oranını yükseltir. Maksimum kalite kontrolüyle verimi artırmak isteyen yarı iletken fabrikalar için bu performans durumu, silikon tekneyi çekici bir seçenek haline getiriyor.

Silikon, yüksek sıcaklıklarda iyi bir stabilite ve mekanik mukavemet sunarak teknenin tekrarlanan fırın döngüleri sırasında güvenilir bir şekilde hizmet vermesine olanak tanır. Malzeme, ısıtma ve soğutma döngüleri sırasında bükülmeye karşı direnç gösterir ve böylece hızlı fırın döngüleri sırasında bile hassas levha yerleştirme ve konumlandırma toleransını korur. Bu termal sağlamlık, çalışmalar arasında minimum değişiklikle yüksek hacimli üretim için yeterince tutarlı, güvenilir proses sonuçları sağlar. Silikon Gofret Teknesi, tutarlı gofret konumlandırma ve yerleştirme sağlamak için yüksek boyutsal hassasiyetle inşa edilmiştir. Tekne, pürüzsüz yüzeyler, yakın geometri ve sıkı toleranslar oluşturmak için gelişmiş işleme ve cilalama kullanılarak üretilmiştir.