Tek Kristal Silikon Duş Başlığı

Semicorex tek kristal silikonduş başlığıolağanüstü korozyon direnci, düşük genleşme katsayısı ve mükemmel ısı iletkenliği gösterir. Yarı iletken üretiminde yüksek sıcaklık, yüksek aşındırıcılık ve yüksek vakum gibi zorlu koşullara sağlam bir şekilde uyum sağlayan bu ürün, aşındırma ve biriktirme gazları gibi proses gazlarına karşı olağanüstü tolerans sergiler. Bu nedenle, tek kristal silikon duş başlığı, yarı iletken temizleme işlemlerinde, oksidasyon işlemlerinde, biriktirme işlemlerinde ve aşındırma işlemlerinde yaygın olarak kullanılmaktadır.

Semicorex, tek kristal silikon duş başlığının yüzeyinin hem son derece yüksek düzlüğe hem de pürüzsüzlüğe sahip olmasını sağlamak için gelişmiş yüzey işleme teknikleri kullanır. Bu arada, standartlaştırılmış kanal yapısı ve gaz yolu tasarımına dayanarak, tek kristal silikon duş başlığının yüzeyi, aynı çaptaki birçok gözenekle (minimum çap 0,2 milimetreye ulaşabilir) eşit şekilde dağıtılır. Tek kristal silikon duş başlığının gözenek çapı toleransı, mikrometre seviyesinde hassas bir şekilde kontrol edilir ve gözeneğin iç duvarı pürüzsüz ve çapaksız olmalıdır, bu da yapısal ve proses açısından proses gazının dağıtım doğruluğunu ve tekdüzeliğini sağlamalıdır.

Semicorex, çeşitli müşteri ihtiyaçlarını karşılamak için uzman kişiselleştirme hizmetleri sağlar. Müşterilerinin çeşitli ihtiyaçlarına göre, reaksiyon odalarının boyutlarına ve şekline uyacak şekilde görünüm çözümleri özelleştirebilmektedir. Optimize edilmiş tasarım, gazın reaksiyon odası boyunca eşit şekilde dağılmasını garanti ederek, levhaların reaksiyon süreci boyunca proses gazıyla tam ve tutarlı bir şekilde temas etmesini sağlar. Bu sonuçta üretim verimliliğini ve ürün kalitesini artırır.