Silikon Enjektör

Semicorex Silikon Enjektörü, polisilikon ve ince film biriktirme için düşük basınçlı kimyasal buhar biriktirme (LPCVD) sistemlerinde gazın hassas şekilde iletilmesi için tasarlanmış ultra yüksek saflıkta bir bileşendir. 9N'den üretilmiştir (%99,9999999)yüksek saflıkta silikonBu ince boru şeklindeki enjektör, zorlu proses koşullarında üstün temizlik, kimyasallarla uyumluluk ve termal stabilite sağlar.

Yarı iletken üretimi daha yüksek entegrasyon seviyelerine ve daha sıkı kirlilik kontrolüne doğru gelişmeye devam ettikçe, biriktirme odasındaki her gaz dağıtım bileşeninin de eskisinden daha yüksek standartları karşılaması gerekecektir. Semicorex Silikon Enjektörü özellikle bu tür gereksinimler için geliştirilmiştir; film kalitesini veya levha verimini olumsuz yönde etkileyecek kirlenmeye yol açmadan gazlı malzemeleri reaksiyon odası boyunca stabil ve tekdüze bir şekilde iletir.

Enjektör, proses gereksinimlerine bağlı olarak monokristalin veya polikristalin silikondan üretilir ve malzeme, düşük metalik, partiküllü ve iyonik yabancı maddelerden oluşacak şekilde tasarlanmıştır. Bu, eser miktarda kontaminasyonun bile filmde bir kusura veya cihazda arızaya neden olabileceği ultra temiz LPCVD koşullarıyla uyumluluk sağlar. Temel malzeme olarak silikonun kullanılması aynı zamanda enjektör ile haznenin silikon bileşenleri arasındaki malzeme uyumsuzluğunu da azaltır; bu da kullanım ve yüksek sıcaklıkta çalışma sırasında partikül oluşumu risklerini veya kimyasal reaksiyonları önemli ölçüde azaltır.

Silikon Enjektörün özel boru şeklindeki yapısı, gazın tekdüze bir plaka yükü üzerinde kontrollü ve eşit bir şekilde dağıtılmasına olanak tanır. Mikro mühendislik ürünü delikler ve pürüzsüz iç yüzey, tutarlı film kalınlığı ve fırında stabil biriktirme oranları için kritik olan laminer gaz dinamiğinin yanı sıra tekrarlanabilir akış hızları sağlar. Silan (SiH₄), diklorosilan (SiH₂Cl₂) veya diğer reaktif gazlar olsun, enjektör, kaliteli polisilikon film büyümesi için gereken güvenilir performansı ve hassasiyeti sunar.

Mükemmel termal stabilite nedeniyle Semicorex Silikon Enjektör, 1250 °C'ye kadar sıcaklıklara dayanabilir ve yüksek sıcaklıktaki LPCVD'nin çoklu döngüleri sırasında deformasyon, çatlama veya bükülme korkusu olmadan kontrol edilebilir. Ek olarak, oksidasyona karşı yüksek direnci ve kimyasal inertliği, oksitleyici, indirgeyici veya aşındırıcı atmosferde uzun çalışma süreleri sağlarken bakımı azaltır ve proses stabilitesi sağlar.

Her enjektör, mikron altı boyut toleransları ve yüzeyde ultra pürüzsüz yüzeyler elde edilerek en son teknolojiye sahip CNC işleme ve cilalama kullanılarak üretilir. Yüksek kaliteli yüzey kaplaması gaz türbülansını en aza indirir, çok az parçacık oluşturur veya hiç parçacık oluşturmaz, aynı zamanda tutarsız termal ve basınç değişimlerinde tutarlı akış özellikleri sağlar. Hassas üretim, sıkı bir şekilde kontrol edilen süreçler, tekrarlanabilir, güvenilir sonuçlar ve dolayısıyla tutarlı ekipman performansı sağlar.

Semicorex, özel uzunluklarda, çaplarda ve nozul konfigürasyonlarında mevcut olan ısmarlama Silikon Enjektörler üretmektedir. Tek seferlik reaktör geometrileri veya biriktirme tarifleri için gaz dağılım modellerini geliştirmek üzere özel çözümler geliştirilebilir. Her Enjektör, en yüksek düzeyde yarı iletken sınıfı sağlamak için saflık açısından incelenir ve doğrulanırsilikon bileşenleri.

Semicorex Silikon Enjektörü günümüzün yarı iletken imalatında gereken hassasiyeti ve saflığı sağlar. 9N ultra yüksek saflıkta silikon, mikron düzeyinde işleme doğruluğu ve yüksek termal ve kimyasal kararlılığın bir araya getirilmesi, LPCVD polisilikon biriktirirken eşit gaz dağıtımı, daha düşük parçacık üretimi ve olağanüstü güvenilirlik sağlar.