Silikon Kaideli Tekne

Semicorex Silikon Kaideli Tekne, oksidasyon, difüzyon ve LPCVD (Düşük Basınçlı Kimyasal Buhar Biriktirme) gibi yüksek sıcaklıktaki yarı iletken prosesleri desteklemek için yüksek saflık ve hassasiyetle tasarlanmış ultra temiz bir levha taşıyıcıdır. Bu gofret taşıyıcısı 9N'den (%99,9999999) yapılmıştıryüksek saflıkta silikonUltra temiz ortamlarda olağanüstü temizlik, termal genleşme stabilitesi katsayısı ve levha desteği için mekanik hassasiyet ve tutarlı proses kontrolü sağlamak için.

Yarı iletken cihaz geometrileri küçülmeye devam ettikçe, ultra temiz ve termal olarak uyumlu levha işleme bileşenlerine olan ihtiyaç hiç bu kadar talep görmemişti. Silikon Kaideli Tekne, 1100°C ile 1250°C arasında çalışan gelişmiş fırın sistemlerinde kullanılmak üzere yüksek boyutsal doğruluk ve eşsiz saflıkla bu talepleri karşılamaktadır.

Silikon tekne yapısı, oluk çubuğu şekli, oluk diş uzunluğu, şekli, eğim açısı ve toplam levha yükleme kapasitesi dahil olmak üzere müşteri ihtiyaçlarını karşılayacak şekilde özelleştirilebilir. Yüksek sıcaklıktaki silikon tekneler, silikon levhalardaki temas hasarını etkili bir şekilde azaltarak proses verimini artırabilir. Yüksek sıcaklığa dayanıklı "kaymaz kuleler" tasarımı, levhaları yalnızca destek dişinin ucunda destekler. Silikon karbürle karşılaştırıldığında silikon nispeten daha az serttir, levhalardaki mekanik hasarı azaltır, böylece kafes kalitesini artırır ve üretim maliyetlerini etkili bir şekilde azaltır.

Ayaklı tekne mevcutturmonokristalin veya polikristalin silikonsilikon olmayan malzemelerle ilişkili kontaminasyon risklerini ortadan kaldırmak için. Platform, aktif olarak kullanılan plakalarla aynı kimyasal bileşimi paylaşıyor ve bu da yüksek sıcaklıktaki işlemler sırasında istenmeyen reaksiyonları veya iyon difüzyonunu en aza indiriyor. Malzeme homojenliği, tutarlı yüksek levha kalitesi ve tekrarlanan üretim döngüleri yoluyla yüksek cihaz verimi için parçacıkların ve metalik yabancı maddelerin fiziksel kimliğini önemli ölçüde azaltır.

Semicorex Silikon Kaideli Tekne, dikey destek yapılarıyla birleştirilmiş hassas biçimde tasarlanmış levha yuvalarına sahiptir ve levhaların ısıtma döngüsü sırasında mükemmel şekilde hizalı ve aralıklı kalmasını sağlar. Boyutsal stabilitesi olağanüstü olup, kaideli teknenin aşırı sıcaklıklarda bükülmemesini, bükülmemesini veya kaymamasını sağlayarak her levha üzerinde iyi sıcaklık ve gaz dağılımı sağlar. Bu boyutsal stabilite, oksidasyon ve difüzyon sırasında film kalınlığı homojenliği üzerinde anında olumlu bir etkiye sahiptir ve daha düşük kusur sayısının yanı sıra daha iyi proses tekrarlanabilirliği sağlar.

Silikon kaideli teknenin birincil faydası optimize edilmiş mekanik ve termal özellikleridir. Silikonun SiC veya kuvarsla karşılaştırıldığında sertliği, ısıtmalı genleşme sırasında levha titreşimi veya hareketi nedeniyle mikro çiziklerin ve parçacık oluşumunun azaltılmasına yardımcı olacaktır. Bu özellikle, levha yüzeyinin bütünlüğünün verim ve cihaz performansı açısından kritik olduğu arka tarafa duyarlı levhalar için geçerlidir.

Kaideli tekne, iyi bir termal iletkenliğe ve düşük bir termal genleşme katsayısına sahiptir; bu, birden fazla ısıtma ve soğutma döngüsüyle şekil ve yapısal sağlamlığı korurken ısı transfer özellikleri sağlar. Sağlam tasarım aynı zamanda aşırı fırın koşulları nedeniyle minimum deformasyonla uzun ömür sağlar.

Semicorex, levha çapı, yuva sayısı, kaide yüksekliği ve geometri değişiklikleri dahil olmak üzere çeşitli ekipman konfigürasyonları için özel tasarımlar sağlar. Yarı iletken üretim sürecindeki en yüksek standartları karşılamak için her ürün saflık açısından incelenir, boyutları ölçülür ve termal iletkenlik testi yapılır.

Silikon Kaideli Tekne, oksidasyon ve difüzyon proseslerinin yanı sıra, eşsiz sıcaklık homojenliği ve kirlenme kontrolü gerektiren LPCVD ve tavlama uygulamalarıyla da uyumludur. Silikon Kaideli Tekne, enjektör tüpü, astar tüpü ve levha taşıyıcı gibi diğer silikon fırın bileşenleriyle uyumludur ve işleme sistemi boyunca malzeme ve termal uyumu korur.