Silikon Kalkan Yüzüğü

Semicorex Silikon Kalkan Halkası, aşındırma işleminde kritik bir yarı iletken bileşendir. Başlıca işlevi elektrodu çevrelemek ve aşırı plazma sızıntısını önlemektir. 9N'yi (%99.9999999) aşan malzeme saflığıyla, kalkan halkası hem tek kristal hem de çok kristalden yapılabilirsilikonUltra temiz çalışma ve gelişmiş yarı iletken üretim süreçleriyle güvenilir uyumluluk sağlar.

CCP/ICP aşındırma işleminde doğru plazma kontrolü, etkili, tek biçimli aşındırma hızı ve levha kalitesi için gereklidir. İstenilen aşındırma alanının dışına kontrolsüz plazma sızıntısı, yüzey erozyonuna ve kirlenmeye neden olabilir veya haznenin içindeki bileşenlere zarar verebilir. Silikon koruma halkası, elektrotun dış çevresi üzerinde koruyucu bir bariyer oluşturmak, plazmanın hedef alanın dışına yayılmasını engellemek ve aşındırmayı yalnızca istenen alanla sınırlamak için oluşturulmuş, bu soruna etkili ve basit bir çözümdür. Silikon koruma halkası aynı zamanda plazma dağılımını stabilize etmek ve levha yüzeyinde daha düzgün enerji sağlamak için bir dış elektrot görevi de görür.

Silikonun termal ve elektriksel özellikleri Aşındırma Kalkanı Halkasının performansını daha da destekler. Yüksek proses sıcaklıklarına karşı direnci, uzun süreli plazmaya maruz kalma sırasında yapısal bütünlük sağlar ve elektriksel iletkenliği, bileşenin elektrot sistemindeki bir öğe olarak düzgün şekilde çalışmasına olanak tanır. Bu uygulamalar birlikte, plazma hapsedilmesini artırır ve enerji tekdüzeliğini geliştirir, bu da plakalar boyunca tekrarlanabilir aşındırma profillerine olanak tanır.

Mekanik tolerans, Silikon Aşındırma Kalkanı Halkasının bir başka dikkate değer özelliğidir. Sıkı toleranslara göre üretildiğinden elektrot etrafında doğru konumlandırmayı garanti eder ve odanın aralığını ve geometrisini korur. Bu mekanik hassasiyet, bireysel çalışmalar arasında daha az değişkenlik için tekrarlanabilir işlem koşulları oluşturur ve yüksek hacimli yarı iletken üretimine izin verilmesine yardımcı olur. Malzemenin kendisi plazma ortamlarıyla mükemmel uyumluluğa sahiptir; bu nedenle yapısının aşındırılması, tipik olarak uzun hizmet ömrü ve süreç performansında istikrar sağlamasına olanak tanır.

Dayanıklılık ve maliyet etkinliği iki değerli avantajdır. Koruma halkası, odanın gereksiz bölümlerini plazmadan koruyarak diğer kritik bileşenlerin aşınmasını azaltır, bu da bakım çalışmalarını azaltır ve genel operasyonel çalışma süresini artırır. Uzun servis ömrü ve daha az sıklıkta değiştirme, onu yarı iletken fabrikalar için üretkenliği artıran ve dolayısıyla işletme maliyetlerini azaltan uygun maliyetli bir çözüm haline getirir.

Sic focus ring, china, tagagawa, supplier, pabrika, na -customize, bulk, advanced, matibaySilikonKoruma halkası aynı zamanda her alet konfigürasyonu ve proses spesifikasyonları için özelleştirilebilir çünkü bunlar, imalatçının ürettiği birçok farklı plazma aşındırma odalarına uyum sağlamak ve aynı zamanda optimum uyumu sağlamak için çeşitli boyutlarda ve geometrilerde mevcuttur. Ek olarak, ultra temiz üretim standartları için parçacık oluşumunu daha da azaltmak amacıyla yüzey işlemleri ve cilalama kullanılabilir.