Poly-Si Oluklu Halkalar

Poly-Si oluklu halkalar genellikle gelişmiş yarı iletken aşındırma ekipmanının reaksiyon odasına takılır. Silikon da dahil olmak üzere silikon parçalarla sinerjik olarak çalışırlarodak halkaları, silikon dış halkalar ve silikonduş başlıkları. Bu parçalar dağlama işlemi için stabil ve optimal bir reaksiyon ortamı yaratarak mükemmel bir sonuç sağlar.gravürHassasiyet ve süreç tutarlılığı.

Semicorex poly-Si oluklu halkaların işlevleri

1. Semicorex poly-Si oluklu halkalar, reaksiyondan sonra proses gazlarının düzgün bir şekilde boşaltılmasına olanak tanıyan, gaz geçişleri görevi gören birden fazla eşit şekilde dağıtılmış yuva ile donatılmıştır.

2. Semicorex poly-Si oluklu halkalar, yarı iletken aşındırma ekipmanının reaksiyon odası için güvenilir koruma sağlayarak mükemmel plazma kontrolü elde edebilir.

3. Semicorex poly-Si oluklu halkalar, elektrik alanının ve oda basıncının ayarlanmasına yardımcı olabilir, böylece kararsızlığın aşındırma işlemi tutarlılığını etkilemesi önlenir.

Yüksek standartta malzeme seçimi

Semicorex poly-Si oluklu halkalar, %99,9999'un üzerinde saflık seviyesine sahip yüksek kaliteli polikristalin silikondan üretilir ve bu onlara aşağıdaki gibi üstün özellikler kazandırır.

1. Ultra yüksek saflık ve son derece düşük safsızlık içeriği.

2. Olağanüstü plazma korozyon direnci.

3. Direnç eşitliği ile olumlu elektriksel özellikler: RRG ≤ %5, düşük çözünürlük. (<0,02), orta çözünürlük. (1–4) ve yüksek çözünürlük. (70–90).

Üretim yetenekleri ve kalite kontrolü

Gelişmiş işleme ekipmanları ve deneyimli teknik ekibiyle donatılmış Semicorex, her üretim sürecini sıkı bir şekilde kontrol ederek siz değerli müşterilerimize yüksek kaliteli ve uyumlu poly-Si oluklu halkalar sunmaktadır. Buna ek olarak Semicorex, bitmiş poly-Si oluklu halkaların talaş, çizik, çatlak ve leke gibi kusurlardan arınmış olmasını sağlamak için boyut ölçümü, direnç testi ve görsel inceleme üzerinde sıkı kontrol gerçekleştirir.